※ 引述《cellowu (cellowu)》之銘言： : ※ 引述《PDADDY (All Eyez On Me)》之銘言： : : HF和silicon本來就不會反應 : : HF主要是和silicon dioxide反應 : : 如果是一般市售的silicon wafer(厚度大約200~300micro) : : 丟進HF溶液理 的確有機會飄浮在水面 : : 不過是因為表面張力的關係 : : 你去推一下wafer 改變他的平衡 就會沉下去了 : : 如果是你丟進去 下沉再浮起來 就是有反應了 : : 不過不是silicon 和HF的反應 : : 而是silicon表面在空氣中自然形成的silicon dioxide和HF反應 : : wafer背面和正面都會有小汽泡 因此wafer就會浮起來了 : : 一般人可能會覺得拋光後應該就沒有氧化層了 : : 的確是這樣沒錯 不過放在空氣中還是會繼續生成氧化層 : : 判斷silicon wafer表面有沒有氧化層的方式 : : 一般是用親疏水性來判斷 : : 不過如果表面拋光品質夠好 就算有50~100nm厚度的氧化層 : ^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^ : 一般的的wafer 之氧化層會呈疏水性,要先吃過HF他會先變親水性(這時還是氧化層) : 最後再變回疏水性(無氧化層) 這個部份我覺得怪怪的 所謂一般wafer的氧化層是指native oxide(1) 還是指PECVD覆蓋上去的氧化層(2) 還是通氧氣在高溫之下 silicon wafer表面形成的氧化層呢?(3) 因為不論是市售的wafer或是實驗室自己生長切片後的wafer 在1或是3的狀況之下 都是呈現親水性 經過HF清洗之後呈現疏水性 但是在經過化學拋光之後 1和3都是呈現疏水性 也就是說經過拋光手續之後 不論是natice oxide或是通氧生成的oxide 都是呈現疏水性質的 -- "It's not about east or west, it's about niggaz and bitches, power and money, riderz and punks!" 這不關於東岸或是西岸,而是關於兄弟和女人,權力和金錢,領導者和卒仔....... by 2pac --

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