※ 引述《cellowu (cellowu)》之铭言： : ※ 引述《PDADDY (All Eyez On Me)》之铭言： : : HF和silicon本来就不会反应 : : HF主要是和silicon dioxide反应 : : 如果是一般市售的silicon wafer(厚度大约200~300micro) : : 丢进HF溶液理 的确有机会飘浮在水面 : : 不过是因为表面张力的关系 : : 你去推一下wafer 改变他的平衡 就会沉下去了 : : 如果是你丢进去 下沉再浮起来 就是有反应了 : : 不过不是silicon 和HF的反应 : : 而是silicon表面在空气中自然形成的silicon dioxide和HF反应 : : wafer背面和正面都会有小汽泡 因此wafer就会浮起来了 : : 一般人可能会觉得抛光後应该就没有氧化层了 : : 的确是这样没错 不过放在空气中还是会继续生成氧化层 : : 判断silicon wafer表面有没有氧化层的方式 : : 一般是用亲疏水性来判断 : : 不过如果表面抛光品质够好 就算有50~100nm厚度的氧化层 : ^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^ : 一般的的wafer 之氧化层会呈疏水性,要先吃过HF他会先变亲水性(这时还是氧化层) : 最後再变回疏水性(无氧化层) 这个部份我觉得怪怪的 所谓一般wafer的氧化层是指native oxide(1) 还是指PECVD覆盖上去的氧化层(2) 还是通氧气在高温之下 silicon wafer表面形成的氧化层呢?(3) 因为不论是市售的wafer或是实验室自己生长切片後的wafer 在1或是3的状况之下 都是呈现亲水性 经过HF清洗之後呈现疏水性 但是在经过化学抛光之後 1和3都是呈现疏水性 也就是说经过抛光手续之後 不论是natice oxide或是通氧生成的oxide 都是呈现疏水性质的 -- "It's not about east or west, it's about niggaz and bitches, power and money, riderz and punks!" 这不关於东岸或是西岸,而是关於兄弟和女人,权力和金钱,领导者和卒仔....... by 2pac --

※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.61.166