作者hodancebear (Arvin)
看板ChemEng
標題[材料] 吃掉下基板SiO2方法?
時間Wed Nov 5 23:25:27 2008
請問一下各位前輩
小弟目前在做專題碰到一個問題
就是我已經在晶圓表面上鍍了鉑跟TEOS還有一層鋁
那請問有什麼方法
可以把晶圓背面的SiO2吃掉後再鍍鋁當下電極
而不影響到表面已處理好的薄膜
氫氟酸可行嗎?
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◆ From: 61.230.217.19
1F：推 Myberry:先摳單面用光阻類的材料保護應該可行吧, 很多雙面線路 11/06 00:39
2F：推 Myberry:都這樣做,不然只吃SiO2的蝕課液很不好找 11/06 00:40
3F：推 singingMuse:如果是sputter的話，好像有看過鍍在NaCl上， 11/06 03:31
4F：→ singingMuse:之後再把NaCl泡到水中溶解就可以得到要的膜了 11/06 03:32
5F：推 Supra:有人用棉花棒沾HF 再沾在背面吃掉SiO2 11/06 10:44