作者hodancebear (Arvin)
看板ChemEng
标题[材料] 吃掉下基板SiO2方法?
时间Wed Nov 5 23:25:27 2008
请问一下各位前辈
小弟目前在做专题碰到一个问题
就是我已经在晶圆表面上镀了铂跟TEOS还有一层铝
那请问有什麽方法
可以把晶圆背面的SiO2吃掉後再镀铝当下电极
而不影响到表面已处理好的薄膜
氢氟酸可行吗?
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 61.230.217.19
1F：推 Myberry:先抠单面用光阻类的材料保护应该可行吧, 很多双面线路 11/06 00:39
2F：推 Myberry:都这样做,不然只吃SiO2的蚀课液很不好找 11/06 00:40
3F：推 singingMuse:如果是sputter的话，好像有看过镀在NaCl上， 11/06 03:31
4F：→ singingMuse:之後再把NaCl泡到水中溶解就可以得到要的膜了 11/06 03:32
5F：推 Supra:有人用棉花棒沾HF 再沾在背面吃掉SiO2 11/06 10:44