作者oax (風平浪靜?)
看板ChemEng
標題[材料] ITO薄膜蝕刻
時間Tue Nov 4 16:17:16 2008
請問一下，該如何蝕刻ITO?
我現在有一片玻璃基板，上面鍍一層ITO薄膜，在ITO上面有金patterned的結構，
不知道有沒有濕式蝕刻的方式吃掉裸露的ITO部分，但不會蝕刻掉底下玻璃和上面
的金結構? 感謝~
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◆ From: 140.126.251.111
1F：推 dimo:假若你的ITO是為非晶形ITO可以利用草酸溶液進行 11/04 19:18
2F：→ dimo:假若ITO是為多晶形ITO 那就只好利用高濃度HCl或者王水 11/04 19:19
3F：→ dimo:不過這對你底層的金會有傷害 11/04 19:20
4F：→ oax:感謝回答，不過我想進一步問草酸濃度要多少，還有蝕刻時間 11/04 20:15
5F：推 dimo:一般商業用的草酸通常是3.4wt%左右,蝕刻時間的話就不一定 11/05 13:12
6F：→ dimo:根據之前的經驗 大概在2min以內可以蝕刻結束(100nm ITO) 11/05 13:13
7F：→ dimo:不過這跟ITO表面的情況有相關 我之前也是有做過蝕刻時間 11/05 13:14
8F：→ dimo:一小時都還沒有蝕刻完全的 最好自己做一次蝕刻會比較保險 11/05 13:15
9F：→ oax:謝謝dimo大，我會試試看~ 11/05 16:26