作者oax (风平浪静?)
看板ChemEng
标题[材料] ITO薄膜蚀刻
时间Tue Nov 4 16:17:16 2008
请问一下，该如何蚀刻ITO?
我现在有一片玻璃基板，上面镀一层ITO薄膜，在ITO上面有金patterned的结构，
不知道有没有湿式蚀刻的方式吃掉裸露的ITO部分，但不会蚀刻掉底下玻璃和上面
的金结构? 感谢~
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◆ From: 140.126.251.111
1F：推 dimo:假若你的ITO是为非晶形ITO可以利用草酸溶液进行 11/04 19:18
2F：→ dimo:假若ITO是为多晶形ITO 那就只好利用高浓度HCl或者王水 11/04 19:19
3F：→ dimo:不过这对你底层的金会有伤害 11/04 19:20
4F：→ oax:感谢回答，不过我想进一步问草酸浓度要多少，还有蚀刻时间 11/04 20:15
5F：推 dimo:一般商业用的草酸通常是3.4wt%左右,蚀刻时间的话就不一定 11/05 13:12
6F：→ dimo:根据之前的经验 大概在2min以内可以蚀刻结束(100nm ITO) 11/05 13:13
7F：→ dimo:不过这跟ITO表面的情况有相关 我之前也是有做过蚀刻时间 11/05 13:14
8F：→ dimo:一小时都还没有蚀刻完全的 最好自己做一次蚀刻会比较保险 11/05 13:15
9F：→ oax:谢谢dimo大，我会试试看~ 11/05 16:26