作者DesArios ()
看板ChemEng
標題[問題] 薄膜厚度量測
時間Mon Oct 13 17:11:10 2008
想請教一下
微米級的TiO2薄膜厚度可以用何種儀器量測呢?
粒徑分析時有用到貴儀中心的SEM
但如果只是要量測厚度有沒有其他較方便的儀器可以替代呢??
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1F：推 a7776041:有光學跟非光學的方式可以測... 10/13 17:31
2F：推 chenyppl:橢圓儀 會是你的良伴 10/14 01:12
3F：推 shinkawac:微米級的話α-step可以用 10/14 15:33
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