作者DesArios ()
看板ChemEng
标题[问题] 薄膜厚度量测
时间Mon Oct 13 17:11:10 2008
想请教一下
微米级的TiO2薄膜厚度可以用何种仪器量测呢?
粒径分析时有用到贵仪中心的SEM
但如果只是要量测厚度有没有其他较方便的仪器可以替代呢??
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1F：推 a7776041:有光学跟非光学的方式可以测... 10/13 17:31
2F：推 chenyppl:椭圆仪 会是你的良伴 10/14 01:12
3F：推 shinkawac:微米级的话α-step可以用 10/14 15:33
4F：推 yte:推1楼~ 10/14 19:54