作者ChrisPaul03 (三號)
看板ChemEng
標題Re: [問題]量膜厚
時間Thu Oct 2 09:02:01 2008
※ 引述《julian42 (jjjjjjjjjjjjjjjjjjjj)》之銘言：
: 請問用a-step量膜厚
: 但是整塊基板都鍍滿Cu
: 沒有露出玻璃的部分
: 要怎麼量?
: 又有沒有願意給我鍍完鐵的玻璃
: 正向不旋轉,有露出玻璃的部分更好
推文提到用防鍍膠帶，
但是會有殘膠遺留問題。
基本上還是要回到膜厚的範圍，
a-step並不是什麼高度都測得到(準)，
我認為100埃的範圍也許可以。
小於這個厚度，
建議用SEM or TEM看剖面。
另外提供一種方法，
利用四點探針量片電阻，
再從已知的電阻率去推算厚度，
此法的優點是設備便宜，
實驗快速。
但先決條件是銅膜品質要均勻，
電阻率才能預估。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 210.240.237.120
1F：推 chenblue:很薄的膜用SEM會不會怕立的不夠直 10/02 09:58
2F：→ ChrisPaul03:SEM的另一個缺點是有時界面不清楚 10/02 10:50
3F：推 wwwea:不清楚有時候是因為操作的人太慢 玻璃基板堆積太多電和造成 10/02 15:24
4F：推 wwwea: 和 10/03 01:38