作者ChrisPaul03 (三号)
看板ChemEng
标题Re: [问题]量膜厚
时间Thu Oct 2 09:02:01 2008
※ 引述《julian42 (jjjjjjjjjjjjjjjjjjjj)》之铭言：
: 请问用a-step量膜厚
: 但是整块基板都镀满Cu
: 没有露出玻璃的部分
: 要怎麽量?
: 又有没有愿意给我镀完铁的玻璃
: 正向不旋转,有露出玻璃的部分更好
推文提到用防镀胶带，
但是会有残胶遗留问题。
基本上还是要回到膜厚的范围，
a-step并不是什麽高度都测得到(准)，
我认为100埃的范围也许可以。
小於这个厚度，
建议用SEM or TEM看剖面。
另外提供一种方法，
利用四点探针量片电阻，
再从已知的电阻率去推算厚度，
此法的优点是设备便宜，
实验快速。
但先决条件是铜膜品质要均匀，
电阻率才能预估。
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 210.240.237.120
1F：推 chenblue:很薄的膜用SEM会不会怕立的不够直 10/02 09:58
2F：→ ChrisPaul03:SEM的另一个缺点是有时界面不清楚 10/02 10:50
3F：推 wwwea:不清楚有时候是因为操作的人太慢 玻璃基板堆积太多电和造成 10/02 15:24
4F：推 wwwea: 和 10/03 01:38