作者hodancebear (Joseph)
看板ChemEng
標題[問題] 關於量測膜厚
時間Wed Oct 1 16:16:32 2008
小弟有一片試片請人幫我鍍了Pt薄膜
需要約3nm左右的厚度
我想請問各位前輩們
除了用阿法-Step量測膜厚之外...
還有哪些方法可以量測的出來
感謝大家的幫忙 ^ ^!!
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 203.68.223.111
1F：推 nanokevin:X-ray Reflectivity 10/01 16:37
2F：推 il00:AFM 10/01 17:58
3F：推 penguin7197:我知道的有1.x-ray同一樓 2.表面粗造度儀 10/01 20:04
4F：→ penguin7197:我也想知道還有啥好用的工具@@? 10/01 20:04
5F：推 Rappy:SEM 10/01 21:21
6F：→ hodancebear:我只知道AFM能看表面粗糙度，要怎樣才能看出膜厚?Thx~ 10/01 21:43
7F：推 u881149:不知道 橢圓測厚儀(Ellipsometer) 能不能滿足你的需求? 10/02 00:34
8F：→ u881149:是我的指導教授曾經提到過的儀器，未來我可能要去別校借用 10/02 00:35
9F：推 iopenny:橢偏儀對於3nm的厚度 似乎有點疑慮 我記得我的super user 10/02 00:51
10F：→ iopenny:好像提過10nm以下會不太準..雖然我也有量5.6nm左右厚度 10/02 00:53
11F：→ ChrisPaul03:a-step測不出3 nm高度差...用TEM吧! 10/02 08:56
12F：推 chenblue:AFM是要看有鍍沒鍍的交界，不然就是刮出傷口。 10/02 09:55
13F：推 mayfour:我用過Ellipsometer測過nm級的厚度 10/02 10:26
14F：→ mayfour:我記得好像可以到0.1nm都測得到 10/02 10:27
15F：→ mayfour:前提是你的parameter要夠精確 10/02 10:28
16F：推 chenblue:Ellipsometer是一定可以，但是受限於 "透明塗膜與基材"。 10/02 14:12