作者hodancebear (Joseph)
看板ChemEng
标题[问题] 关於量测膜厚
时间Wed Oct 1 16:16:32 2008
小弟有一片试片请人帮我镀了Pt薄膜
需要约3nm左右的厚度
我想请问各位前辈们
除了用阿法-Step量测膜厚之外...
还有哪些方法可以量测的出来
感谢大家的帮忙 ^ ^!!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 203.68.223.111
1F：推 nanokevin:X-ray Reflectivity 10/01 16:37
2F：推 il00:AFM 10/01 17:58
3F：推 penguin7197:我知道的有1.x-ray同一楼 2.表面粗造度仪 10/01 20:04
4F：→ penguin7197:我也想知道还有啥好用的工具@@? 10/01 20:04
5F：推 Rappy:SEM 10/01 21:21
6F：→ hodancebear:我只知道AFM能看表面粗糙度，要怎样才能看出膜厚?Thx~ 10/01 21:43
7F：推 u881149:不知道 椭圆测厚仪(Ellipsometer) 能不能满足你的需求? 10/02 00:34
8F：→ u881149:是我的指导教授曾经提到过的仪器，未来我可能要去别校借用 10/02 00:35
9F：推 iopenny:椭偏仪对於3nm的厚度 似乎有点疑虑 我记得我的super user 10/02 00:51
10F：→ iopenny:好像提过10nm以下会不太准..虽然我也有量5.6nm左右厚度 10/02 00:53
11F：→ ChrisPaul03:a-step测不出3 nm高度差...用TEM吧! 10/02 08:56
12F：推 chenblue:AFM是要看有镀没镀的交界，不然就是刮出伤口。 10/02 09:55
13F：推 mayfour:我用过Ellipsometer测过nm级的厚度 10/02 10:26
14F：→ mayfour:我记得好像可以到0.1nm都测得到 10/02 10:27
15F：→ mayfour:前提是你的parameter要够精确 10/02 10:28
16F：推 chenblue:Ellipsometer是一定可以，但是受限於 "透明涂膜与基材"。 10/02 14:12