作者twkscat (@@)
看板ChemEng
標題Re: [問題] 請教一下如何量測高電阻率的薄膜
時間Tue Sep 9 21:15:42 2008
※ 引述《cellowu (要操才會強)》之銘言：
: ※ 引述《twkscat (@@)》之銘言：
: : 大家好
: : 小弟目前遇到一個問題
: : 用三用電錶,四點探針以及霍爾量測無法量到我的ZnO薄膜
: : 不知道還有什麼其他方法可以量測
: 我的ZnO 是用sputter 長上去的
: target 為AZO 97% ZnO 3% Al
: 長出來的膜厚為500nm 這樣用三用電錶量就量的出來電阻了
: (四點探針還沒做)以上是我的經驗給你參考一下
AZO薄膜我也鍍過，薄膜本身就很好測
但是過高電阻的i-ZnO薄膜就沒辦法了
我都試過了
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