作者twkscat (@@)
看板ChemEng
标题Re: [问题] 请教一下如何量测高电阻率的薄膜
时间Tue Sep 9 21:15:42 2008
※ 引述《cellowu (要操才会强)》之铭言：
: ※ 引述《twkscat (@@)》之铭言：
: : 大家好
: : 小弟目前遇到一个问题
: : 用三用电表,四点探针以及霍尔量测无法量到我的ZnO薄膜
: : 不知道还有什麽其他方法可以量测
: 我的ZnO 是用sputter 长上去的
: target 为AZO 97% ZnO 3% Al
: 长出来的膜厚为500nm 这样用三用电表量就量的出来电阻了
: (四点探针还没做)以上是我的经验给你参考一下
AZO薄膜我也镀过，薄膜本身就很好测
但是过高电阻的i-ZnO薄膜就没办法了
我都试过了
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.116.175.81