最近跟實驗室學弟聚餐,有討論到之後研究的一些方向 會有需要用到XeF2這種結晶做為Si蝕刻的氣體 想請問板上大大是否有使用過這種材料的相關經驗 是跟哪一家廠商訂購,價格跟容量大概是多少 以及在使用,安全性保存方面還有後續處理的相關資訊 請不吝告知0.0...謝謝~~~ --

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