最近跟实验室学弟聚餐,有讨论到之後研究的一些方向 会有需要用到XeF2这种结晶做为Si蚀刻的气体 想请问板上大大是否有使用过这种材料的相关经验 是跟哪一家厂商订购,价格跟容量大概是多少 以及在使用,安全性保存方面还有後续处理的相关资讯 请不吝告知0.0...谢谢~~~ --

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