作者homelan (小教练)
看板Physics
标题[问题] 电子束轰击造成积碳原因
时间Mon Jun 29 00:17:12 2015
大家好
一般我们使用SEM通常在一定的真空下
但经过电子束长时间的轰击会发现表面累积一些物质
查了一下网路大多说是积碳
但这些碳从何而来 ？
在多少真空环境下容易生成 ？
因为google不到相关文献
希望有相关领域高手帮忙解答一下
感谢
--
Sent from my Android
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 36.237.33.145
※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/Physics/M.1435508234.A.10D.html
1F：推 ansen0988: 那是样品烧焦吧06/29 00:57
2F：推 FunkyMajik: 目前所有类型的真空帮浦对氢气、部分碳氢化合物、一06/29 01:41
3F：→ FunkyMajik: 氧化碳、二氧化碳等的抽气效果并不理想，超高真空用RG06/29 01:41
4F：→ FunkyMajik: A检测残余气体这几种荷质比会特别明显。而电子束可以06/29 01:41
5F：→ FunkyMajik: 把分子键结打断，因此会造成碳的沈积。06/29 01:41
6F：→ homelan: 那使用ion pump是有效的手段吗 ？06/29 07:09
※ 编辑: homelan (36.237.35.146), 06/29/2015 07:10:33
7F：→ homelan: 我的经验是使用ion pump後积碳速速似乎变慢 06/29 07:13
8F：推 FunkyMajik: 当然会有效阿..一般只用turbo即使加上bake chmaber的 06/29 09:29
9F：→ FunkyMajik: 过程..能到1*10-9torr的压力就很了不起了..後续就是要 06/29 09:30
10F：→ FunkyMajik: 靠ion pump才能进-10的真空..一般SEM sample chamber 06/29 09:32
11F：→ FunkyMajik: 顶多到-7的真空而已，含碳化合物还是一大堆 06/29 09:33
12F：→ FunkyMajik: 不过SEM里ion pump是接在column的部分，效果也是有限 06/29 09:34
13F：→ homelan: 大致上了解 我会用RGA去测试一下 06/29 12:43
14F：推 FunkyMajik: 处理样品时若有有机溶剂要记得等完全挥发再放进去 06/30 00:17