作者honusweet (果香)
看板Physics
标题[请益] GP-275 convectron gauge混合气体总压
时间Tue Aug 20 12:08:35 2013
小弟的问题是这样的，通常我们侦测真空条件时，
粗真空(760~10^-3torr)通常会使用此类的热传导真空计，
原理部分因不是问题之一，在这就不多加说明了(倘若知道原理，能更方便您厘清，
请来信可以为您详细解答)。
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问题(操作溅镀系统)
在真空腔体达到底压时，通入的反应气体包括:氮气、氩气，
由於我们的真空计同一时间只能做单一气体的校正(使用的GP275为氮气做基准)，
当通入这两种气体，压力读值便会失真，要如何求算出混合後的总压!?
目前想到的方法是，以热力学的规则溶液求出随分压改变的压力变化，
但活性系数这部分的资料不足(以查过)，无法顺利求得，想请问还有其他办法可以
求出吗!?
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.118.38.226
1F：→ ewings:压力计读到的值就是总压了,通入混合气体後乱跳那是操作问题 08/20 13:20
是总压没错，不过是失真的总压，因为通常gp275只能对单种气体做校正，通入两
种不一样气体就会有偏差，因为真空计还是以校正的单一气体为基准去作用。
※ 编辑: honusweet 来自: 140.118.38.226 (08/20 14:24)
2F：→ ewings:不然你就只好向原厂要氩气的校正数据,然後自己作内差 08/20 22:44
好像也只能这样子了,感谢^q^
※ 编辑: honusweet 来自: 180.177.114.234 (08/21 18:15)