作者nightkid (固有结界：无限の剑制)
看板Physics
标题Re: [请益] 试列举与说明测量蒸镀薄膜厚度的方法?
时间Sun Mar 27 16:47:43 2011
1.石英震荡器(QCM) 这是目前想到最快速的方法
但是要把事情重做一次 利用一样的条件做
但是这次不是度在基板上 而是度在QCM上 这样就可以知道你度多厚
2.要不然就要用Auger搭配Argon ion bombardment
先把你做好的东西打一次Auger 知道你度上去的东西的讯号比例与基板的讯号比例
然後使用Argon ion bombardment打掉一层 再扫
就这样一直反覆做下去 直到度上去的东西的比例降到一定的值
到可以宣称他已经没了为止
由此你可以知道有几层
至於ion bombardment需要在多少的气压下、要多大的bias、
sample上要有多大的current、要多久
就是要你自己去想办法估计出来的东西了 每个chamber能提供的不一样
p.s. Auger使用的环境最好要有超高真空等级(P < 1E-7 torr)
一般我们使用Auger前 压力都会维持在E-9、E-10 torr的等级
打开Auger後压力会上升 而电子枪最怕压力不好
※ 引述《wind1025 (wind1025)》之铭言：
: 大家好!前几天做了实验
: "高真空镀膜机"
: 在真空条件下通过加热蒸发源,将待蒸发的热稳性化合物加热至高温,
: 使之挥发成蒸气雾而喷敷在式样表面,因而达到蒸镀的目的!
: 在载玻片上蒸镀了铝
: 实验有一个问题就是要列举与说明测量蒸镀薄膜厚度的方法?
: 我在想会不会可以用蒸镀材料的重量和待镀物的表面积占腔体横切面积的比例
: 来求得?
: 还是我根本就想错了!需要以仪器测量?
: 感谢回答!
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I am the bone of my paper. Pen is my body, and ink is my blood.
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◆ From: 140.115.220.100
※ 编辑: nightkid 来自: 140.115.220.100 (03/27 16:53)
1F：推 jerry78424:我只想到切断样品用SEM扫截面....XD 03/27 16:50
2F：→ nightkid:这也是一种方法 03/27 16:53
3F：推 CIA007:1.光学监控, 2.SEM, TEM, HRTEM, STM 03/27 16:56
4F：→ nightkid:不过SEM好像不能知道物种? 03/27 16:56
※ 编辑: nightkid 来自: 140.115.220.100 (03/27 16:58)
5F：推 jerry78424:只能大致以导电性(亮暗)区分 03/27 17:05
6F：→ nightkid:恩 似乎QCM 或 SEM是里面最简单的方法了 03/27 17:07
7F：→ nightkid:但是如果要切开他的话 会不会造成太大的误差呢... 03/27 17:21
8F：→ yeahbo:最简单且便宜是用酸把部分铝蚀刻掉，再用 surface profiler 03/27 17:27
9F：→ yeahbo:量厚度，有钱一点就用 AFM XD 03/27 17:28
10F：推 jerry78424:半导体薄片1~2mm没问题，载玻片的话....不知道XD 03/27 17:45
11F：推 jerry78424:我觉得问题在上面的铝很容易掉，我手上的纪念品就是... 03/27 17:48
12F：推 Navarro:我想类似超音波探伤的技术应该有机会 03/27 20:11
13F：推 greature:贴真空胶带去蒸镀，拿出来後撕掉去给厚度仪或 AFM 扫 03/27 20:19
14F：→ Navarro:感觉薄薄一层用ion bombardment比较适合 03/27 20:22
15F：推 wind1025:喔!感谢大家的回答!^^ 03/27 21:03
16F：推 HJsalon:是不是用RBS测呀？wafer上的薄膜厚度好像是用RBS测厚度 03/27 23:22
17F：→ hank780420:上礼拜上课听到可以用x-ray refraction测膜的性质? 03/28 00:36
18F：→ dancemoon:半导体薄膜可以用折射反射率去推膜厚，金属膜就不晓得了 03/28 02:15
19F：→ nightkid:是xray refraction 还是 defraction? 03/28 09:30
20F：→ hank780420:反射啊 03/28 09:53
21F：推 threedices:类似楼上greature,拿块玻璃,用油性麦克笔画几条线 03/28 10:56
22F：→ threedices:蒸镀完後用acetone洗掉做lift off,然後用profilometer 03/28 10:57
23F：→ dancemoon:反射跟折射其实都有耶~不过基板不透光就不能用折射了@@ 03/28 12:25