作者LScouple (找到出路)
看板Physics
标题[问题] ALD沉积氧化铝
时间Tue Dec 15 21:50:34 2009
想请问一下
台北的学校或研究单位
有ALD可以沉积氧化铝
P.S我是想沉积一层薄薄的氧化铝对Silicon作钝化
如果用E-gun代替有效果吗?
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 114.43.157.170
1F：推 Keelungman:先镀 Al 再用 RF sputter Al2O3 with O2 gas 是可行的 12/16 00:13
2F：→ CIA007:ALD是CVD制程，一次给一点点量的化学物质进去。 12/19 17:09