作者LScouple (找到出路)
看板Physics
标题[问题] Al2O3 and TiO2
时间Wed Dec 9 19:20:22 2009
想请问ㄧ下这两种材料
用E-gun去镀的话品质会不会很差
跟sputter or sol-gel比(TiO2) 跟ALD or sputter比(Al2O3)
想再问ㄧ下一般想镀薄薄ㄧ层Al2O3 都是用哪一种方法
ALD哪里可以借得到(台北台大佳)
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.102.175
1F：推 Keelungman:用 sputter 长 Al2O3 可以请教林敏聪老师实验室 12/09 20:40
2F：→ Mariness:Egun不是很好 还是sputter比较ok 12/09 22:55