作者missing0315 (zzzz)
看板Physics
标题[问题] Al与si 欧姆接触
时间Wed Sep 30 22:15:10 2009
想问一下
Al电极作在矽晶片上如果要形成欧姆接点的话
应该要经过退火的程序
想问一下退火的时间和温度大概是多久
用高温炉或是ＲＴＡ是否不同
升温速度大概要少
Al大概镀多厚差不多
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 218.168.75.234
1F：→ blus:文献都可以查到参考 09/30 23:30
2F：→ ccitmdl:paper会告诉你答案~~ 10/01 02:10
3F：推 macher:= = 这要查paper吧 10/02 12:44