作者armoni (真理~给我一个真理 好吗)
看板Physics
标题[半导体] 氟与铜金属
时间Mon Nov 24 12:58:08 2008
请问一下各位
氟离子会加速铜的氧化吗?
从书上看到说 "氟离子会加速铜的氧化 造成元件的可靠度变差"
感觉有点奇怪
氟离子真的会加速铜的氧化吗?
谢谢
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 118.171.135.64
※ 编辑: armoni 来自: 118.171.135.64 (11/24 13:15)
1F:→ MOONRAKER:氟不是跟什麽都会结合吗 11/24 14:30
2F:推 sixth:F对氧化层IMD影响比较大,如果说稳定度会变差 11/24 22:53
3F:→ sixth:还不如说 F离子吃掉IMD 11/24 22:55