作者adrian0215 (...)
看板Physics
标题[问题] 半导体制程
时间Tue Sep 30 17:54:45 2008
在读施敏的半导体制程时
在提到湿式化学蚀刻(等向性)与乾性物理蚀刻(非等向性)
认为非等向性是一种优点???
可是等向性不是得到很整齐的边缘吗???
为什麽这个章节认为非等向性的轮廓是一种优点呢??
感谢回答
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 210.69.13.1
※ 编辑: adrian0215 来自: 210.69.13.1 (09/30 17:55)
1F：推 victor896:等向性不好,元件越做越小,容不下等向性所造成不需要的 09/30 19:55
2F：→ victor896:ETCH 09/30 19:55
3F：推 quaintness:第四行打错弄错了... 10/01 10:10
4F：推 sixth:楼上看的真仔细又敏锐 orz 10/03 16:06