※ 引述《ohdam (Boring !!!)》之铭言： : 不清楚在这发问合不合适 : 只是这边似乎有蛮多有经验从事半导体方面之人士 : 想请问 像一边在处理晶圆等的材料很容易发现上面有水渍 : "似乎"在就算在无尘室里只要冲洗晶圆未以合适之吹乾方式就会残有水渍 : 我想问的是 那个水渍(应该说水纹)是甚麽呢!? : 是脏东西 还是水分子残在晶圆表面而带不走呢 : 谢谢 不只是半导体厂,液晶面板厂也一样。 最有趣的是...世界前几名的大厂里头对这样子的水残水渍 的理解还是未定论。 所以,其实你这个问题不太容易回答出正确的答案, 就我个人的理解是 Fab 里头(不管是空气中或液体中)的某些有机物 留在表面所造成,因为这些碳链为主的有机物多半是斥水性的, 所以你仔细观察那些受到污染的地方,contact angle多半比正常的地方来得大 而且一种降低水残现象的发生的作法是在 n+ Si 表面以一点点 N2 + H2 的 plasma 去 treat,把它改成亲水性,反而不会有水残水渍。( plasma treatment 完之後用 optical 的方法去 scan 表面可以得知) (但是却会略为提升 n+ 与 metal 之间的 contact resistance,不过由此来换得yield是划算的!) --

※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc) ◆ From: 59.113.68.81