作者ohdam (Boring !!!)
看板Physics
标题请问 水渍
时间Sun Aug 19 08:38:05 2007
不清楚在这发问合不合适
只是这边似乎有蛮多有经验从事半导体方面之人士
想请问 像一边在处理晶圆等的材料很容易发现上面有水渍
"似乎"在就算在无尘室里只要冲洗晶圆未以合适之吹乾方式就会残有水渍
我想问的是 那个水渍(应该说水纹)是甚麽呢!?
是脏东西 还是水分子残在晶圆表面而带不走呢
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 124.8.14.78
1F：推 sputtering:用线上的XRD去打 08/19 10:49
2F：→ sputtering:印象中晶圆厂的晶圆都是用旋乾的 如果有一大particle 08/19 10:50
3F：→ sputtering:挡住 造成旋乾时的水分岔 留下水渍就很有可能 08/19 10:52
4F：→ sputtering:不过我已离开那斯太久早就忘光光XDXD 08/19 10:54
5F：推 fola:呵呵 从事半导体工作的人就是要解决这些鸡毛蒜皮可是却会造 08/19 11:19
6F：→ fola:会造成重大影响的事 08/19 11:24
7F：→ fauna:水中的杂质吧 08/19 11:51
8F：→ fauna:用吹的是把水连杂质一起吹走 08/19 11:51
9F：推 sputtering:一班处理晶圆表面除了用水冲/超音波震动/用小刷子刷 08/19 11:56
10F：→ sputtering:还有很多方法 只不过要讨论适用情况 08/19 12:02
11F：→ wonds:水中的杂质和空气中的微粒 一般普通无尘室的微粒还是很多 08/31 23:40