作者cyc647 (小G)
看板NEMS
标题[问题] 光阻退火
时间Thu Jun 16 12:30:30 2016
各位大大好
目前实验上遇到一个问题
我用正光阻s1818要当作定位的目标
想请问已经显影完的s1818
随着基板一起送去退火(490度C,半小时)
光阻还会留着吗?
很怕这种高温光阻会直接蒸发
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 140.116.31.204
※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/NEMS/M.1466051432.A.F62.html
1F：推 s75287: ㄧ般制程结束洗掉光阻後，用来去除残余光阻的一招， 06/16 17:41
2F：推 s75287: 就是高温烧掉它。 06/16 17:41
3F：推 tony1688: PR ash 。 06/18 06:51
4F：推 sunchloveann: 光阻回灰化喔 120度就硬化 印象到350度以上就GG了 06/19 00:09
5F：推 NANACON: 退火後会变焦，有可能用remover都去不掉... 06/23 10:11
6F：推 Amitopho: 烤过很难去 09/09 06:26