作者anthon555 (彦)
看板NEMS
标题[问题] enpi 205 光阻参数
时间Sun May 24 13:02:05 2015
嗨，又来麻烦各位，想问一下有没有人使用过这只光阻，最近在是这只的参数。
我主要的问题是在显影时，整片光阻全部被显开，有将曝光剂量减到2sec 以下
在想是不是曝後烤不够久的关系。
P.S
照DATASHEET 上面的建议
五千转
软烤 90度 2min
曝後烤 100度 2min
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