作者dandanboy234 (dandanboy)
看板NEMS
标题[问题] 蚀刻二氧化钛配方
时间Fri Aug 31 17:27:13 2012
AS TILTE 想请问大家是有否有其他蚀刻TiO2薄膜的蚀刻液，我的配方式HF:H2O2:H20=1:1:20，但蚀刻结果并不理想，想请问大家是否有其他配方?
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1F：推 astushi:怎麽不理想法?可能要说说你的状况 09/01 03:00
2F：推 nevinyrrals:用BOE吃一吃就好啦 09/01 10:33
3F：→ dandanboy234:因为吃了快要2，3个小时才吃起来，膜厚30~40奈米 09/01 17:31