作者Ice98 (又寂寞又美好)
看板NEMS
标题Re: [问题] lift 光阻去不掉
时间Tue May 26 23:52:29 2009
※ 引述《Nicholas0917 (哞)》之铭言：
: 各位大大....我想请问一下
: 我是用sputter镀铝 再去泡丙酮来lift-off
: 可是都lift 不掉
: 到底是有甚麽问题??
: 我的device又不能拿去超音波震
: 我用的光阻是AZ5214反转
: 而且以前都lift的掉
: 就最近不行
: 我把铝的厚度降低也不行
: 到底还有甚麽方法 急急急
: 拜托了各位大大
1. 相较於e-beam, sputter的包覆性太好
lift-off比较难是正常的
2. lift-off前面的黄光是不用硬烤的
或是做完黄光放太久, 光阻也会乾掉
最好是黄光做完马上镀金属, 接着直接丢进丙酮再回去睡觉
隔天就可以直接收成啦!~
3. AZ5214受热温度太高形成片状的话, 连丙酮都去不掉
建议用4620, 对温度的忍受度较好, 厚度较厚也适合lift-off
4. 不能打超音波, 可以拿毛笔刷刷刷吗? 禾斗 禾斗 禾斗
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◆ From: 140.112.14.54