作者qoo31751 (我是小熊)
看板Mechanical
标题[问题] 气体流量与压力的问题
时间Sat Apr 22 21:05:13 2017
大家好
因为小弟实验用机台的其中一颗气体感测器坏了
换了一颗新的後发现流量跟压力好像跟之前不太一样
所以请想问一下
我们用的气体是Ar 跟O2 气体流量比例是1:3
那压力是否也会是1:3
本身是读电机的
我没学过流体方面的东西
上网看的一些资料也不太懂
可以麻烦大家帮我解答一下吗?
谢谢大家
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1F：→ YJM1106: 不是 04/22 21:38
可以请问一下我该怎麽去计算吗?
麻烦你了
※ 编辑: qoo31751 (122.117.150.109), 04/22/2017 21:49:24
2F：推 Ertkkpoo: 体积流率? 质量流率? 04/22 22:15
体积流率 单位 sccm
原本Ar是调1.9 sccm 会有 1.2 mTorr的数值
至於O2就没注意过了 谢谢
※ 编辑: qoo31751 (122.117.150.109), 04/22/2017 22:38:23
3F：推 lwc20717: 是用蚀刻机吗？ 04/22 23:56
RF磁控溅镀机唷 比例没办法控制好 蛮麻烦的 QQ
※ 编辑: qoo31751 (122.117.150.109), 04/23/2017 01:03:21
4F：推 gj942l41l4: Ar和O2 sputter吧 有点怀念 04/23 03:17
5F：→ gj942l41l4: 压力是指哪里的压力？ 调压阀？ 04/23 03:19
6F：推 gj942l41l4: 我看懂了 是腔体压力？ 那不能这样算 你的真空pump 04/23 03:32
7F：→ gj942l41l4: 同时间还在抽气 04/23 03:33
8F：→ gj942l41l4: 真的要确认的话 把MFC拔出来做流量校正会比较好 04/23 03:33
好唷 谢谢
刚刚发现了流量计的可以转的最大值不一样
一个只有到20 一个可以转到100
不知道是我们要重新校正 还是sensor的厂牌不同...
※ 编辑: qoo31751 (140.117.165.80), 04/23/2017 13:04:17
9F：→ gj942l41l4: 流量计不是sensor 是controller 04/23 20:53
10F：→ gj942l41l4: 有些流量计有写单位 不然就是照最大流量做等比例调 04/23 20:54
11F：→ gj942l41l4: 但部分流量计数值会差很多 做个校正比较好 04/23 20:55
12F：推 gj942l41l4: 不过是说 你要校正也要有钢瓶可以校啦... 04/23 20:58
13F：→ gj942l41l4: 做个制程而已不如直接试参数 04/23 20:58
我的意思是我们换了一颗sensor以後
流量计的最大值就不一样了
我现在是有在try参数啦
做等比我倒是没想到QQ
明天再去试试 感谢你罗
※ 编辑: qoo31751 (220.132.95.133), 04/24/2017 00:01:49