作者etjim515 ( 孩子)
站内Mechanical
标题[请益] 请问关於微结构的制作???
时间Wed Oct 28 17:27:06 2009
各位好!
事情是这样的,由於我的论文需要使用到Si制程的微悬臂梁!
因此有向国外(德国,SiMETRICS)厂商订购ㄧ组
但拿到後发现试片黏在ㄧ个玻璃(硼矽)基板上!
因实验要求需要将玻璃基板给移除掉!
可是在寄信给原厂询问移除的方法,得到的答案是他们使用的黏着剂是特殊用
没办法用ㄧ般方式去除!
想请问各位是否有其他可行的移除办法!
将玻璃基板移除掉且不会损坏到微悬臂梁结构
如果没有较佳的方式!
是否有其他厂商在专门制作微结构??
而在制程中悬臂梁的平整度和精度希望可以很精准
我对微机电制程这方面不是很了解
想请教各位前辈,谢谢!
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