作者shinesun (shinesun)
看板Master_D
标题[请益] emissivity
时间Sat Dec 27 11:23:09 2008
假设一个问题 susceptor上放一片wafer
这个susceptor由SIC 所组成
另一个susceptor 由C组成 上面coatingSIC
两个chamber的condition 都一样的话
那我应该只要找出 哪一个的emissivity比较大 他的growth rate 应该就比较高
http://www.monarchinstrument.com/pdfs/TableofEmissivity.pdf
可以看到carbon graphited 在500度C的emissivity是0.71
但是SIC在149-649度C的emissivity 是0.83-0.96
这样说来应该是SIC的材质比较有利 growth rate才是吧~~
大家可以给我一点意见吗?? thx~
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