作者eggplant (茄子)
看板Electronics
标题请问制程为什麽metal有width的上限
时间Mon Oct 8 20:28:52 2007
如题
就像pad很大DRC可以过
但一般routing的metal就有width的上限
请问是为什麽呢？
metal width上限这回事在制做上有什麽困难吗？
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.48.130
※ 编辑: eggplant 来自: 123.192.179.64 (10/08 22:36)
1F：推 neaman:Stress issue, metal vs. oxide adhesion 不够. 10/08 23:13
2F：推 cpt:还有一个就是metal density的限制, routing layer需要CMP 10/09 03:27
3F：→ cpt:pad在最上层不用CMP, 做多大都没人管你 :P 10/09 03:27
4F：→ cpt:CMP是指chemical mechanical polish, 密度和polish速率有关 10/09 03:28
5F：推 eggplant:感谢啊, 豁然开朗 0rz... 10/09 10:08