作者jiun5367 (Harvm)
看板ChemEng
标题[材料] TiCu 热膨胀系数
时间Tue Jul 11 14:00:46 2017
我们想研究热膨胀系数对应力造成的影响
我们在找各个材料的参数
但我们一直找不到TiCu & TiW
的热膨胀系数
这两个材料都应该是很广泛利用在晶圆制造上
不至於找文献都没找到
想问各位
手边有没有这方面的资料
感恩不尽
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