作者littlest (读册人...)
看板ChemEng
标题Re: [问题] SEM原理
时间Mon Oct 18 11:06:18 2010
※ 引述《Hrich (那年夏天的回忆录)》之铭言：
: 最近翻阅了SEM的原理
: 里面提到SEM试片要求必须是导体
: 否则应该在表面镀上一层金
导体或镀金是要让电荷可以导掉,
除了让杂讯减少外(电荷累积会造成杂讯), 亦可以避免sample烧掉变黑,
通常sample烧掉变黑就会产生气体挥发, 而破坏仪器的真空度,
所以, 若你的sample不容易烧掉, 或是就算烧掉真空度提高, 贵公司也不太介意的话,
基本上sample会不会导电, 或是需不需要镀金就不重要了....
: 又强调不可是液体或胶状物质
: 我们公司有在使用CD-SEM
: 可是CD-SEM却可用来观察晶圆上的光阻影像
: 光阻是液体状的，也不导电
: 却不要求需是导体或镀上一层金
: 这是为甚麽呢
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