作者cellowu (要操才会强)
看板ChemEng
标题Re: [问题] 请教一下如何量测高电阻率的薄膜
时间Tue Sep 9 16:27:36 2008
※ 引述《twkscat (@@)》之铭言：
: 大家好
: 小弟目前遇到一个问题
: 用三用电表,四点探针以及霍尔量测无法量到我的ZnO薄膜
: 不知道还有什麽其他方法可以量测
我的ZnO 是用sputter 长上去的
target 为AZO 97% ZnO 3% Al
长出来的膜厚为500nm 这样用三用电表量就量的出来电阻了
(四点探针还没做)以上是我的经验给你参考一下
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