版友您好: 請幫忙下載此文獻 論文名稱: 改善氮化鈦阻障層與鎢插塞之化學氣相沉積製程 以降低其電阻率之研究 研究生: 林仲凱 指導教授:潘 扶 民 校院名稱:國立交通大學 系所名稱:工學院半導體材料與製程設備學程 網址:https://ir.nctu.edu.tw/handle/11536/74165 麻煩下載後請寄至 [email protected] 贈400P 感謝 --

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