作者xeaper (xeaper)
看板comm_and_RF
標題[問題] 關於 CMOS 基板參數
時間Tue Jan 5 20:51:35 2016
小弟最近再研究電感，用 ADS 跑 EM
在其中 PO ~ M9 的金屬與介電常數在製程說明書上都可以查到
可是唯獨 P-SUB 的 permittivity 跟 Resistivity 跟 P-SUB厚度 查不到
想說是小弟沒有看仔細還是真的 Substrate 的參數需要下 Test key
回來才能知曉，希望有經驗的大大能幫小弟解惑
感激不盡
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※ 編輯: xeaper (140.115.73.211), 01/05/2016 20:53:00
1F：推 ultimachen: Resistivity一般在10 ~ 20 Ohm.cm 111.251.24.14 01/05 22:34
2F：→ ultimachen: 厚度設300um(有磨)或700um(沒磨) 111.251.24.14 01/05 22:36
3F：→ ultimachen: 就感值來說差別不大,Q值影響一些 111.251.24.14 01/05 22:37