作者gauss760220 (宅哥)
看板comm_and_RF
標題[問題] 半導體製程疑問
時間Sat Aug 23 13:51:00 2014
請問一下
什麼是遮蔽層?
剛在半導體製程的書上看到
"在高溫的氧化爐中,矽晶圓表面很容易就可成長出高穩定度的二氧化矽層,
以作為電性隔絕和擴散的遮蔽層用"
所以是為了防止載子的擴散效應嗎?
另外,超淺接面又是在做什麼用的?
為何MOS還有分上、下閘極?
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※ 編輯: gauss760220 (220.133.57.54), 08/23/2014 14:34:10
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※ 編輯: gauss760220 (220.133.57.54), 08/23/2014 14:35:16
1F:推 zace15: 遮蔽層可以用來保護底層乾淨的矽 避免被 111.70.77.201 08/23 17:51
2F:→ zace15: 其他粒子影響 111.70.77.201 08/23 17:51