請問有沒有推薦的"半導體製程簡介書籍"? 本身以前不是念相關科系 但是現在在半導體工作 念flow念到 1. pocket/halo implant?及其目的? 2. spacer etch前怎麼不需要photo? 3. DDD implant Extended implant? 4. junction leakage? 5. MCI ESD implant? 6. RPO deposition的目的? 7. pre-doped poly PR strip? 8. Recess and Weff 9. Short channel effect? 就很不清楚了! 之前未進公司前買的書籍也沒說到這些 讓我很困擾! 請大家推薦一本好書籍吧! p.s 請回我信箱 Thanks

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