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日本AIST成功試製GaN結合SiC功率半導體 https://bit.ly/3LdwRNP 日本産業技術綜合研究所(AIST)宣稱成功試製了將碳化矽(SiC)和氮化鎵(GaN)結合 為一體的半導體,這是通過結合兩種特性不同的功率半導體材料,實現新一代電力轉換技 術可用於電子産品和純電動汽車(EV)的節能化的解決方案,兼顧較高的轉換效率和可靠 性。 -成功實現GaN電晶體與SiC二極管的結合在單一晶片上 -解決了電路異常工作時出現的GaN電晶體耐壓失效問題 -有望應用於太陽能發電的電機驅動和功率調節器 AIST研究團隊 由日本AIST主任研究員Akira Nakajima帶領功率器件團隊Shinsuke Harada研究員進行一 種寬帶隙半導體研究。使用氮化鎵(GaN)具有高功率電子轉換電晶體管,結合碳化矽(SiC) 兩個PN二極管混合型集成在單晶片上。因此,混合電晶體有望應用於需要高可靠性的電動 汽車和用於太陽光發電的功率調節器。 功率電晶體技術背景 由於功率電晶體在功率轉換電路中用作電開關,因此需要以下三個性能: (1) 低導通電阻以減少導通狀態下的傳導損耗,實現高效的功率轉換 (2) 高速開關性能以減少開關損耗 (3) 功率轉換異常操作期間的噪聲能量電路作為吸收源的作用中,當在截止狀態下施加過 電壓時,晶體管會造成非破壞性擊穿,並將噪聲能量作為熱能吸收,以確保功率轉換器的 可靠性。 對於當前功率晶體管的主流矽(Si)晶體管,(1)到(3)的性能幾乎達到了材料的極限 。因此,作為超越Si極限的技術,使用GaN、SiC等寬帶半導體的功率晶體管的研究和開發 一直在進行。圖1顯示了傳統的GaN電晶體的截面結構。如圖 1 所示,高電子遷移率晶體 管在源電極 (S) 和漏電極 (D) 之間沒有 PN 結,沒有二極管。由於這個原因,GaN晶體 管在(1)和(2)方面具有優勢,但也具有獨特的缺點,即(3)尺寸小,這阻礙了它們 的廣泛使用。 本研究內容 為了實現 GaN 和 SiC 的混合電晶體,需要 GaN 和 SiC 的器件原型環境。所以AIST擴展 了 SiC 功率器件的 100 mm 原型線,並將其作為 SiC 和 GaN 的共享原型線以及混合電 晶體原型推出。這次作為概念驗證,AIST成功地進行了原型設計並確認了小型設備的操作 (額定電流約為 20 mA)。原型的示意性橫截面,如下: -SiC襯底上的p型SiC在外延膜上進行電晶體生長。 -離子注入形成了具有p + 型SiC和n型SiC的二極管結構。此外,在它們之上,GaN外延膜 GaN電晶體管結構通過外延生長AlGaN阻擋膜和GaN帽膜這三個膜來製造。 -通過這種方式,成功地將 SiC 二極管和 GaN 電晶體單片化。連接p + 型SiC上的陽極(A )和AlGaN勢壘層上的源極(S),連接n型SiC上的陰極(C)和AlGaN上的漏極(D)勢壘 層,形成一種三端混合電晶體。 從原型混合晶體管在關斷狀態下的成品率特性評估結果來看,通常,在 GaN電晶體中,器 件在彎屈時立即被破壞。另一方面,在AIST製造的混合電晶體中,通過將 SiC 側的耐壓 設計為略低於 GaN 的耐壓,實現了 SiC 二極管的非破壞性雪崩擊穿,而彎屈電壓約為 1.2 kV。此外,由於獲得了非破壞性雪崩擊穿,因此可以確認多次掃描的穩定且可逆的彎 屈操作。另一方面,當ON狀態的通電特性。由於,高機動性電流流過二維電子氣,因此確 認了 300 mA/mm 的高漏極電流和 47 Ω mm 的低導通電阻。通過這種方式,除了 GaN電 晶體的低導通電阻特性之外,AIST還能夠展示一種執行非破壞性彎屈操作的混合晶體管。 此外,由於 SiC 的熱導率是 Si 的 3 倍,因此可以獲得出色的散熱特性也是混合電晶體 的一個特點。因此,這種器件技術有望為下一代電源轉換器帶來更高的效率和可靠性。 --



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