作者FTICR (FT-ICR)
看板Tech_Job
標題[討論] FAB 中曝光機 (scanner) 的市佔率
時間Fri Mar 10 22:37:01 2017
想請問在黃光區的先進問題
一說到曝光機台廠商，原本都只想到 ASML
尤其是在先進製程上，下一代 EUV 大概也得靠他們
不過最近好奇看 NIKON 193i 的機台，才發現性能和 ASML 差不多
以下是兩家最新的193i機台比較：
ASML NXT:1980Di NIKON NSR-S631E
NA 0.85-1.35 1.35
Resolution ≦38nm ≦38nm
Field size 26*33 mm 26*33 mm
Overlay
(Single machine) ≦1.6 nm ≦1.7 nm
(Matched machine) ≦2.5 nm ≦2.3 nm
Throughput(96 shots) ≧275 WPH ≧270 (optional) WPH
Ref:
http://www.nikon.com/products/semi/lineup/pdf/NSR-S631E_e.pdf
https://goo.gl/EhfIsL
請問在業界這兩台都有人在用嗎?
還是先進製程主要仍以 ASML 居多? (N家幾乎都日本半導體廠自用?)
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※ FTICR:轉錄至看板 Electronics 03/10 22:38
1F：推 kminer: 看規格就曝的出來要一堆工程師幹嘛 03/10 22:48
確實也很好奇哪些部分是設備商負責哪些是FAB
2F：推 treeyoyo: ASML居多吧,NIKON 應該是過去dry時代的產物 03/10 22:54
但這規格是先進製程的，也代表他們有能力做?
https://goo.gl/0nzgfJ 這裡有講一些 Highlights，包含"for 7 nm node"
3F：推 fegat: NIKON還可以賺面板的曝光機 超貴的 03/10 22:58
曝面板用的應該超大台XD 但resolution應該不用很高?
4F：推 AXby: 有人買Nikon就不會搞到Nikon要裁1000人了 03/10 23:02
好吧QQ
5F：推 spadeg25620: twin scan & alignment吧 03/11 00:35
兩家的 Overlay 差不多，確實可能是 dual-stage design 有差
6F：推 louis1704: 谷歌新聞a家市占有九成，減一點也有七八成吧 03/11 00:44
了解，感謝
7F：→ louis1704: 193還會往下做浸潤式，還有有兩個Chuck,不知道n家的有 03/11 00:46
8F：→ louis1704: 嗎？如果有，品質穩定嗎? 03/11 00:46
這就要問實際在用的工程師了...
※ 編輯: FTICR (219.70.186.32), 03/11/2017 01:10:25
9F：推 ardella: 很多東西是spec沒法告訴你的，現在run45為了cost down是 03/11 02:04
10F：→ ardella: 可以考慮用，但是一般一直做的FAB現在折舊也差不多了，幹 03/11 02:04
11F：→ ardella: 嘛還要買這種來重新折舊，更何況還要做mixmatch,怎麼算 03/11 02:04
12F：→ ardella: 都不划算 03/11 02:04
13F：推 AXby: 面板的市佔Nikon就真的很高 特別是10代以上的超大面板是獨占 03/11 05:33
14F：推 giggs11s: 在日本半導體廠確實N社和C社的曝光機很多，因為便宜... 03/11 08:19
15F：→ giggs11s: . 03/11 08:19
16F：推 iFann: A社強的還有軟體阿..GRIDMA/DOMA 03/11 10:21
17F：推 henryrita: 別說啦 03/11 10:31
18F：推 a1zz3: 天后就一堆Nikon 03/11 12:02
19F：→ zonezone: 在半導體先進製程曝光機方面ASML獨霸，其他都是撿屑屑吃 03/11 13:24
20F：→ coldbeerhere: 天后nikon都低階dry的 03/11 14:09
21F：→ pig2014: 當你個版？還是當成台積版？ 03/11 17:44
22F：推 mingchyi: Nikon immersion 機台便宜但可靠度不佳 03/11 17:50
23F：推 otaru051: 天后宮有n牌泡水機的喔。。。 03/11 18:20
24F：推 mahament: twin chuck WPH就電爆別家 03/12 14:12
25F：推 giggs11s: twin stages的throughput不見得比較強，個人覺得差是差 03/13 16:09
26F：→ giggs11s: 在asml的機差非常的小，還有鏡面不會霧化 03/13 16:09
27F：推 film: 當年拉開差距，靠的就是twinstage 03/14 01:55