1.CVD(chemical vapor deposition) 兩種型式~1.只有一種氣體(homogeneous) 2.二種以上的氣體~ p270 Fig3.32要會解釋了解他的過程~ p273 Fig3.34>>>線是彎的-->表示有兩個活化能 有兩個process在競爭>>>反應和輸送 在低溫時，活化能高重要 -->反應為rds 在高溫時，活化能低重要 -->輸送為rds p743 Fig7.42 match 和dismatch不知會不會考叫你畫出來~~~ p747 Fig7.46 二極體的製備過程~可能會問一下~ negative photoresist:照光後不會溶 positive photoresist:照光後會溶~ photoresist consist:1.resin or base material 2.photoactive compound(PAC) 3.solvent 2.sol-gel>>>須高溫須時間 sol gel processing almost exclusively involves metall alkoxieds as precursor chemicals silica gel is produced by1.hydrolysis 2.dehydration 3. polymerization 3.Optical microscopy光學顯微鏡 構造看一下~ Becke line method:it is possible to tell whether the refractive index of the sample is larger or smaller than that of the immersion liquid n1>n2 n1<n2的圖~~ crystal defect:grain boundaries 和 dislocation 4.electron microscopy電子顯微鏡~ scanning electron microscopy(SEM) high-resolution electron microscopy(HREM) transmission electron microscopy(TEM) 可能問你全名考填充~ p173 Fig4.2 各顯微鏡可觀察的範圍有可能考你唷~ *elemetal analysis 1.electron probe microanalysis(EPMA) 2.electron microscopy with microanalysis(EMMA) 3.analytical electron microscopy(AEM) scanning1.測Wavelength(wavelength dispersive ,WD)->EPMA 2.測energy(energy dispersive , ED) WD->一個一個測，誤差小 >B都可以測到 ED->做一次就ok了，誤差較大，>Na都可以測到 量測方式:Auger spectroscopy 和 electron energy loss spectroscopy(EELS) p174 Fig4.3 重要~~ p176 Fig4.5 5.spectroscopy *vibratonal spectroscopy:IR Raman IR:absorption , 須有dipole moment的sample(IR active) Raman:scattering 不須要dipole moment的sample Raman1.ravleigh scatter 2.raman scater P181 Fig4.8->都是SiO2 但結晶態不同-->>>由於排列不同，分子振動不同 *visible and ultraviolet spectroscopy type of transition 1.原子自己內部的electron transition 2.原子與鄰近原小的charge transfer 3.能階->能帶 4.能帶->能帶 *NMR p185 Fig411 Q4 Q3 Q2 Q1 Q0的shield Q4的shield較差因為 O為拉電子基，Si受電子的shield較差 *ESR P189Fig4.14 (c) 3沒有分裂 52Cr:I=0 1245 53Cr:I=3/2 ESR測量sample須具有unpair electronic 1.conduction electron of metals 2.semiconductors 3.transitions metal ions 4.molecules containing odd number of electrons (NO, NO2, ClO2 and NF2) 5.radicals produced by chemical or physical means 6.triplet state molecules *X-ray p190.fig 4.15 k absorption edge->將k層游離所須能量 Auger:電子打進去，游離一個內層電子，外層電子進去補，放出x-ray x-ray又游離外層電子，測第二個游離的能量稱auger k阿法，k杯踏要知道唷~~ p192.fig4.16->氧化數、環境不同-->放射強度不同~~ p193 fig4.17 L edge有三個peaks(2s, 2p(1/2), 2p(3/2) p198fig4.23, p199fig4.24,p200 fig4.25要會解釋唷~~ 呼~打完了~ 希望對那些危險的人有幫助~~俞文我在說你你有在看嗎？你要考兩科 看你那麼累~你要多看點唷~~加油~~ 其他人也要加油唷~~ 我竟然消夜的飲料買了啤酒~囧~~ 我瘋了嗎？~~~ -- ████████████████ █╭──★───☆───★─╮█ █☆ │█ █│ T K U A G U ☆█ █╰─★───☆───★──╯█ ████████████████ --

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