作者rosemary0401 (rosemary)
看板Stock
標題Re: [標的] ASML 中國的EUV可能是真的
時間Sat Jun 14 17:30:04 2025
※ 引述《good123456 (網軍吃屎)》之銘言:
很多地方都已經披露,事後證明,這個中國做出EUV的消息是假的。
但是股板的資訊似乎還沒有更新,所以來給大家說明一下這個中國EUV消息的後續。
: 根據X上的小道消息指採用LDP技術的EUV最近在華為東莞工廠預計2025 Q3進行測試,並預期
: 2026進行量產計畫:
: https://reurl.cc/96gRyv
上面這個連結已失效,因為Twitter(X)上的原文已刪除。
那原本的文章裡講些什麼呢?文章裡面有這一張圖片,圖片裡有一個機器:
https://imgur.com/lDO9p5e
機器上面寫著『EUV光刻物鏡裝調干涉儀』
然後文章裡面各種吹捧。頓時,網上各種自嗨:
『一台机器低调亮相,上面汉字令欧洲不寒而栗:ASML大势已去?』
那為什麼後來被披露,這個中國做出EUV的消息是假的呢?
首先,如果這個機器如果是EUV,那也太小了。
ASML真正的EUV是很大一台的。
而且,機器上的字就已經說明,
這是『EUV光刻物鏡裝調干涉儀』不是『EUV曝光機(光刻機)』
你不能因為機器上有EUV三個字,就說中國做出EUV。
用棒球來打個比方,
這就好像中國蓋了一個『全壘打牆』,然後你說中國打出『全壘打』,這樣是不對的。
是的,『全壘打牆』中確實有『全壘打』三個字。
但『全壘打牆』是一個設備,用來衡量你打出來的球,是否可以被定義為『全壘打』
並不代表你真的打出了『全壘打』。
同理,『EUV光刻物鏡裝調干涉儀』就是一個用來裝配調教EUV光刻機中物鏡的設備。
並不代表中國做出了『EUV曝光機』。
當然,這並不是第一次,也不會是最後一次,
有心人士透過自媒體,揭露中國『疑似』做出EUV的假消息。
之後我們應該還是會看到很多次
『中國低調穩健,技術突破;歐美驚呆,又慌又怕』的消息。
但我們還是不得不說,中國在技術方面,確實有在進步。
做出EUV光刻物鏡裝調干涉儀,也表示中國在嘗試攻克EUV相關的技術。
EUV並不是像『移民火星』或是『時光機器』一樣,在人類的歷史上,從來沒有做到過
EUV除了ASML之外,日本的尼康也曾在2007-2008年左右就做出EUV的樣機,
當時美日半導體科技戰的背景之下,尼康的EUV一度只落後ASML約18個月,
但最後因研發成本昂貴,又無法在商業上取的進展,最終尼康放棄了EUV的開發。
也許中國在1-3年之內,像2007-2008年的尼康一樣,做出一台EUV的樣機,這並非不可能。
到時候,中美半導體的科技戰,可能會上升到EUV的零部件,
因為ASML的EUV曝光機,其實大量採用其他美日歐公司的零部件,
EUV曝光機的零件包含但不限於:
光源系統:美國Cymer,日本Gigaphoton
鏡頭:德國蔡司
光罩:美國Photronics,日本DNP
雙工作台:日本東京威力科創
真空儀器儀表:美國BrooksAutomation
離子注入機套件:美國AxcelisTechnologies
…等等
中國正在攻克EUV的光源系統,但是鏡頭是用蔡司的,其他零部件不可能全部都自己製造。
所以,到時候中美半導體的科技戰,可能會上升到EUV的零部件的部分。
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 113.39.122.17 (日本)
※ 文章網址: https://webptt.com/m.aspx?n=bbs/Stock/M.1749893409.A.326.html
1F:→ Eos : 本來就沒人信 06/14 17:33
2F:推 Homeparty : 做出EUV沒意義,美國晶片設計公司不會下單給中國。 06/14 17:36
3F:→ Homeparty : 蘇聯就玩過半導體城了,中國還是要突破晶片設計有 06/14 17:36
4F:→ Homeparty : 自有可賣的TPU,GPU,ARM才有用,會做車子沒辦法外銷 06/14 17:36
5F:推 wekaytw : 畫虎爛又不用給錢 認真你就輸了 左岸主力在成熟 右 06/14 17:41
6F:→ wekaytw : 岸成熟要注意了 話說當年美國也是用星戰計畫唬爛蘇 06/14 17:41
7F:→ wekaytw : 聯 鼻屎鼻屎啦 06/14 17:41
8F:推 strlen : 不重要 反正就是中又贏 06/14 17:41
9F:→ olozil : 做出來不難,做出能用的很難 06/14 17:42
10F:推 Brioni : 中國有蔡司研發中心跟工廠 06/14 17:45
11F:推 huabandd : 就算退一百步來說,真的成功了,也追不上 06/14 17:46
12F:推 Brioni : 光源的部分則是想走別條路,但聽說目前的能量不足 06/14 17:48
13F:推 rayisgreat : 真的有人會信這種==? 06/14 17:52
14F:推 Brioni : 而且我看之前ASML跟學界的說法是做出EUV而非EUV機台 06/14 17:52
15F:→ Brioni : ,指的是光源、不是說已經有產業等級的機台 06/14 17:52
16F:推 aegis43210 : 只有LPP路線成功而已,其他都不可行 06/14 17:52
17F:→ Brioni : 當年台積三星牙膏在推EUV時從有光源到有能量產機台 06/14 17:53
18F:→ Brioni : 經過好幾年 06/14 17:53
19F:→ Brioni : 有光源模組只是起步而已 06/14 17:54
20F:→ cleanx : 是烤麵包機吧 06/14 17:55
21F:推 aegis43210 : LPP技術是東芝及海力士都有幫忙開發的,專利方面就 06/14 17:57
22F:→ aegis43210 : 全卡死了 06/14 17:57
23F:→ baka1412 : 不重要 06/14 18:00
24F:→ Rickyyy : 首先你要知道ptt基本上已經被中國化 06/14 18:01
25F:推 KrisNYC : 問題不是單方面的 ASML的EUV又不是只有GG有 06/14 18:01
26F:→ KrisNYC : Intel跟三星已經有EUV多少年了 現在還是掙扎到不行 06/14 18:02
27F:推 Brioni : 大家過度放大ASML的評論了,人家只是就EUV產生下評 06/14 18:02
28F:→ Brioni : 論,跟馬上會出現商業競爭方案是兩回事 06/14 18:02
29F:→ KrisNYC : 除非你中國做出EUV是要賣給GG/Intel/三星 當設備商 06/14 18:02
30F:推 Mysterydog : 之前不是還有人在吹華為做出5nm,看極客灣跑分單核 06/14 18:02
31F:→ Mysterydog : 也就跟A12一樣而已 06/14 18:02
32F:推 aegis43210 : 西台灣想試著走DPP路線,但能量太低,缺乏量產效率 06/14 18:03
33F:→ KrisNYC : 不然就算做出EUV 那也只是鏟子能用了 跟產礦還遠 06/14 18:03
34F:→ KrisNYC : 我是一直覺得那個5/7nm就是12nm++++++超強化版 06/14 18:03
35F:→ Brioni : 中間整合關卡太多,時間拉長的確有機會逐步攻克,但 06/14 18:04
36F:→ Brioni : 那時候台積電都不知道攤完幾座廠的投資了 06/14 18:04
37F:→ KrisNYC : 跟I皇炸掉的這兩代產品意義差不多 06/14 18:04
38F:推 aegis43210 : i皇是因為SPR晚一年才發售,所以才炸裂的 06/14 18:07
39F:推 webster1112 : 和武漢弘芯: 這玩得比我認真!!!!!! 06/14 18:07
40F:噓 Manslayer69 : 某s之類的中吹不敢回 06/14 18:08
41F:→ aegis43210 : 美國則是想走FEL路線,但也是有能量不足的問題,晶 06/14 18:09
42F:→ aegis43210 : 圓廠比起省電,更希望的是增加量產效率 06/14 18:09
43F:推 chewthelife8: 歐美一直都驚呆了 從來沒看過歐美不驚呆過 06/14 18:11
44F:→ painvano : 真想賺錢的人不會留在股板 每天一堆網軍貼捧中國 06/14 18:14
45F:→ painvano : 損台灣美國的新聞 真的相信這些來做股票會賠死的XDD 06/14 18:14
46F:→ cutbear123 : 看到突然超英趕美的新聞一率當造假就對了 06/14 18:16
47F:→ cutbear123 : 整個半導體產業是全球各國頂尖專利合作的結果 哪有 06/14 18:17
48F:→ cutbear123 : 這麼容易隨便就搞出來== 06/14 18:17
49F:→ Feting : 這新聞對股市本來就沒影響,只有asml有可能受傷 06/14 18:18
50F:推 HiuAnOP : 不重要,重點是中國或成最大贏家! 06/14 18:19
51F:→ rooo2012 : 不可能這麼快 最少也要五年以上 但也不一定要走euv 06/14 18:20
52F:→ rooo2012 : 吧 06/14 18:20
53F:→ YSJ543 : 中國要一個搞定各國最頂尖技術 顆顆 06/14 18:20
54F:→ PoLyGyNy : 坐等s21大來打臉你 06/14 18:21
55F:推 dosiris : 阿我就做出縮小版不行泥 06/14 18:21
56F:推 Roger5566 : 中國自製的DUV只有到65nm 離EUV還差很遠 06/14 18:25
57F:→ Roger5566 : 不過只要持續研發EUV有進展 ASML的壓力就很大 06/14 18:26
58F:→ Roger5566 : 現在中國管制稀土 用稀土去換EUV還比較快 06/14 18:27
59F:推 godog : 既然X上的小道消息是2025 Q3進行測試 Q4沒啥動靜 06/14 18:29
60F:→ godog : 再出來打臉也還不遲 現在就急著說是假的.... 06/14 18:30
61F:→ godog : 不覺的邏輯有問題? 06/14 18:34
62F:推 sdbb : 樓下icrose 06/14 18:36
63F:推 kobebrian : 推 06/14 18:47
64F:推 mangle : 我知道! 中國快崩潰了 06/14 18:51
65F:推 jack990568 : 好人推 06/14 18:52
66F:推 Matz : 中吹眼裡已經贏麻了 06/14 18:56
67F:推 s213092921 : 酸民不見棺材不掉淚^^ 06/14 18:58
69F:→ s213092921 : 麒麟X90的GPU等於天璣9000。CPU單核心:两年前的x86 06/14 19:01
70F:→ s213092921 : 。能耗比:低频Zen4。多核心:蘋果M3晶片 06/14 19:01
71F:推 shenru : 超怕中國成功 有趣 06/14 19:06
72F:推 TaiwanNeko : 可以做到很小台,不就表示技術更厲害? 06/14 19:07
73F:推 s213092921 : 另外國產EUV就是要零件獨立自主,不怕卡脖子 06/14 19:10
74F:推 Gipmydanger : 笑死,能做早做了 06/14 19:11
75F:推 huabandd : 中吹被召喚了,我笑死XD 06/14 19:12
76F:推 s213092921 : 去年12月國產EUV已經通過驗收審核,下半年會有陸續 06/14 19:13
77F:→ s213092921 : 公佈 06/14 19:13
78F:推 instill8 : 中吹仔 06/14 19:16
79F:→ jpnldvh : 不就時間問題而已 做不出來等著酸 真做出來了轉頭噴 06/14 19:19
80F:→ jpnldvh : 怎麼台灣做不出來 成天找人噴心態滿可悲的老實說 06/14 19:19
81F:推 loveyourself: 這邊講國產是台灣產嗎XD 演都不演 06/14 19:20
82F:推 Homeparty : 只有鏟子沒礦沒意義,只有小米就在試圖弄礦出來 06/14 19:20
83F:推 stepnight : 啊啊啊我癢癢大國怎麼可能沒有EUV 06/14 19:25
84F:→ stepnight : 你那消息一定是假的 06/14 19:25
85F:→ bba75149 : 不管你說啥 反正中又贏 贏N次 06/14 19:27
86F:推 HRyan : 牛在天上飛,人在地上吹 06/14 19:34
87F:推 huabandd : 樓上ㄓㄜ ㄐㄩ ㄅㄨ ㄘ 06/14 19:35
88F:→ huabandd : 這句不錯 06/14 19:35
89F:推 gfsog : 這篇講EUV, 中吹貼CPU要幹嘛? 06/14 19:38
90F:→ takase : 麒麟X90吹半天5nm,結果還是7nm製程,還被人看破手腳 06/14 19:40
91F:推 nonightcat : 真的讓他們搞成功了 聯發科科科 06/14 19:42
92F:推 s213092921 : 麒麟X90多核心追上台積電N3B而已,落後一代 06/14 19:44
93F:→ s213092921 : 中國7nm相當台積電3奈米,是吧? 06/14 19:44
94F:推 godog : 以晶片設計來說 聯發科cpu已經輸小米 rf更是輸華為 06/14 19:45
95F:推 roger717 : 就算有有euv光源,對準系統也是瓶頸吧 06/14 19:45
96F:推 good5755 : 多核跑分高是因為用hyper-threading技術 不是製程 06/14 19:46
97F:推 KickAcer : 重點要燒錢 中國有錢燒嗎 燒了要多人沒飯吃 06/14 19:47
98F:→ good5755 : 現有測試影片來看 華為還在用中芯N+2技術 06/14 19:47
99F:→ s213092921 : 台灣還想國產EUV哈哈,叫裕隆試試看 06/14 19:49
100F:→ water6 : 當初車版吹華為智駕遙遙領先,結果fsd一落地都沒人 06/14 19:49
101F:→ water6 : 再提了,但euv這次不一樣?! 06/14 19:49
102F:→ good5755 : 對岸現在最新的技術應該是65nm乾式DUV 用多重曝光 06/14 19:50
103F:噓 royli : 讓中吹多高潮一會是會怎樣 06/14 19:50
104F:→ good5755 : 應該可以摸到28nm的門檻 實際良率多少就不清楚了 06/14 19:50
105F:推 Mysterydog : 只看多核 也不看看單核爛的跟什麼一樣 是在搞笑嗎 06/14 19:56
106F:→ Mysterydog : GPU甚至連手機都打不贏 06/14 19:56
107F:推 mynumber55 : 三小,這台以為是cnc機器喔,笑死 06/14 20:00
108F:噓 tokight : 中國自己市場就夠大了,不太需要美國下單吧,不然 06/14 20:03
109F:→ tokight : 黃仁勳怎麼會一直執著中國市場呢 06/14 20:03
110F:推 DiAbLoE : 你看那個DeepSeek 連版上中吹都避而不談了 XDDD 06/14 20:06
111F:推 mind324 : 他們用同輻作光源 不知道有沒有成 06/14 20:09
112F:→ mind324 : 成的話不要用西方的標準看 因為機組模式都不同 06/14 20:10
113F:推 jexcel : 大陸就真的進步了 都不能講真話 06/14 20:13
114F:推 mynumber55 : 有做成也不會這麼小台好嗎 06/14 20:14
115F:→ mynumber55 : 當全世界都白痴嗎? 06/14 20:14
116F:推 aegis43210 : DPP路線會更大臺 06/14 20:17
117F:推 fantasyscure: 真的爛還是真的好? 06/14 20:18
118F:推 yannicklatte: ㄊ 06/14 20:21
119F:→ yannicklatte: 推 06/14 20:21
121F:→ s213092921 : 入影片由AI辨識內容 06/14 20:23
122F:→ s213092921 : GPT5都做不出的內容,美吹繼續吹R2蒸餾GPT 06/14 20:24
124F:→ s213092921 : 了,美吹趕快安慰一下 06/14 20:27
125F:推 wsx26997785 : 沒讀過歷史才相信中共吹噓 看大躍進煉鋼及農糧亂吹 06/14 20:31
126F:→ wsx26997785 : 中國現在能肥起來就當初騙到歐美來中國技術加持 06/14 20:32
127F:→ wsx26997785 : 太空領域也就騙到俄國人來中國技術加持 06/14 20:32
128F:→ wsx26997785 : 中國要自己短時間內搞起來怎麼可能 06/14 20:33
129F:→ wsx26997785 : 光是學術研究沒自由性 加上政府更不會花錢在培育上 06/14 20:35
130F:→ wsx26997785 : 哪來得技術突破 就連軍事技術都是偷拐搶騙來的 06/14 20:36
131F:→ wsx26997785 : 一堆軍事設計抄襲美國 內部零件抄襲俄國的 魚雷也是 06/14 20:36
132F:推 skizard : 十年前我們也是在酸中國汽車撞測1星都拿不到...現 06/14 20:54
133F:→ skizard : 在...? 06/14 20:54
134F:推 s213092921 : 中國六代機也是抄美國是吧? 06/14 20:55
135F:→ skizard : 半導體中國不管怎麼努力要趕上最先進設備是沒機會 06/14 20:57
136F:→ skizard : ,但門檻相對低 堪用的遲早會做出來 06/14 20:57
137F:推 fattyeddie : 抄抄抄 擋擋擋 06/14 21:07
138F:推 NekomataOkay: 已反映 06/14 21:08
139F:推 ariadne : 六代機就跟現在的EUV 一樣 就取個名 內容是另一回 06/14 21:14
140F:→ ariadne : 事 都老套路了 在股版最簡單就講GDP跟失業率好了 06/14 21:14
141F:→ ariadne : 台灣 米國 中國統計方法是一樣尼?不一樣的東西還 06/14 21:14
142F:→ ariadne : 比到爽起來 自己跟自己比沒問題 比其他單位就好笑 06/14 21:14
143F:推 stosto : 連封裝的曝光機都做不出來是要做甚麼EUV 06/14 21:28
144F:→ hamnett17th : 時間對中國有利,遲早是會做出來 06/14 21:43
145F:推 aegis43210 : 日本的曝光機那麼便宜,何必自己做? 06/14 21:48
147F:推 stonecold123: 沒人信,你先不用嘿 06/14 21:53
148F:推 Matz : 垃圾影片一直貼幹麻 06/14 21:53
149F:→ rooo2012 : 中國早已大量投入科學基礎研究 雖然此前很多都是抄 06/14 22:02
150F:→ rooo2012 : 襲 但一直出新人才 追上只是時間的問題 能遏止中國 06/14 22:02
151F:→ rooo2012 : 只有斷了他們的經濟外銷 但問題是很多東西全世界都 06/14 22:02
152F:→ rooo2012 : 在用 06/14 22:02
153F:→ rooo2012 : 技術突破是早晚的事 06/14 22:03
154F:推 southpeace : 最關鍵的還只能是蔡司沒有之一 06/14 22:04
155F:推 verydolungbe: 中國就是仿冒,盜取專利,挖角偷專利,還美其名逆向 06/14 22:21
156F:→ verydolungbe: 工程,自己花的努力=0,不知道吹捧的人在想什麼? 06/14 22:21
157F:→ sid3 : 裡面零組件很複雜 不可能全自己做 06/14 22:27
158F:推 s213092921 : 會相信中國抄襲的,去看看氫彈的于敏構型吧 06/14 22:36
159F:推 linein : 不重要,遲早的事 06/14 22:52
160F:推 s213092921 : 我就喜歡備份酸民說中國今年不可能搞出EUV的文章, 06/14 23:02
161F:→ s213092921 : 等著打臉 06/14 23:02
162F:→ orz811017 : 那就是美國陣線 馬繼續跑 舞繼續跳 繼續HIGH 06/14 23:06
163F:→ orz811017 : 做出來大家等著GG私密達 06/14 23:06
164F:推 isu0911 : 0.0 06/14 23:08
165F:推 banamelon : 還好啦十年前就在喊彎道超車了,那種義和團式的自爽 06/14 23:09
166F:→ banamelon : 法等他真的投入市場(接子彈)就知道會死會活 06/14 23:09
167F:→ ga023630 : 還有人吹R2 笑死 被美國除了llama 之外都吊打 06/14 23:17
168F:→ ga023630 : 蒸餾還不敢承認 有夠玻璃心 06/14 23:17
169F:→ ga023630 : 支吹真可愛、 06/14 23:17
170F:→ ga023630 : EUV 今年不出來 某支吹也是會裝死啦 被打臉多少次了 06/14 23:19
171F:推 c41231717 : 他這台的大小是曝電路板的大小的吧 06/14 23:29
172F:推 aoutum : 這篇推文怎麼這麼正常?菜人996假日沒公用網路? 06/14 23:34
174F:→ s213092921 : 5月28日DS的R1模型改版就屌打GPT以外的模型好嗎 06/15 00:18
175F:推 jagger : 十年後再來討論中國自製EUV啦 06/15 00:45
176F:→ jagger : 中吹仔平常吹其他領域就算了,先進製程晶圓代工十 06/15 00:47
177F:→ jagger : 年後再來吹 06/15 00:47
178F:推 kingof303 : 小草信了 06/15 00:48
179F:推 cityhunter04: 就是要拖他的進度,不然什麼技術都偷人家的,會不 06/15 01:46
180F:→ cityhunter04: 會過太爽! 06/15 01:46
181F:推 basicircle : 于敏構型也是tu構型的改善版 實際上談到于敏構型 06/15 03:57
182F:→ basicircle : 用的也是用美國的新式核彈構造來解說 06/15 03:57
183F:推 wahaha711233: 美國強大 不知道那麽多台灣人在爽啥? 06/15 04:35
184F:推 japan428 : 就問一句話,看好小米華為的壓身家買股了沒?壓身 06/15 06:59
185F:→ japan428 : 家放空GG跟發哥了沒?沒有講話都可以當放屁 06/15 06:59
186F:推 EZTW0000 : 能用會賠就是成天,有整個國家養,面子問題不要用 06/15 07:47
187F:→ EZTW0000 : 正常商業邏輯 06/15 07:47
188F:推 suckkorea : 中吹當初喊得多大聲 殊不知大家心裡有數 06/15 08:14
189F:推 olp123 : 中國應遲早會做出來的,其實他也是集結全世界人才再 06/15 11:06
190F:→ olp123 : 做 06/15 11:06
191F:→ olp123 : 覺得台灣不需要看輕中國吧,人家至少做出機台了 06/15 11:07
192F:推 redlance : 沒看輕 只是不爽垂 06/15 12:55
193F:→ redlance : 吹 06/15 12:55
194F:→ ga023630 : 支吹自己貼的圖都打臉自己DS 吊打其他家的說法了 06/15 14:18
195F:→ ga023630 : 笑死 被GPT 吊打 跟Germini Grok 差不多 這還是精 06/15 14:18
196F:→ ga023630 : 心挑出來的評比 綜合評比跟幻覺DS 被吊打 不敢貼嗎 06/15 14:18
197F:→ alau : 曝光機上面寫殘體字 感覺真醜 06/15 15:03
198F:推 billy4305 : 那本來就是給中吹看的 不過還是感謝分享 06/15 16:31
199F:推 juangpeiyi : EUV的laser source不是cymer 不是giga,是 trumpf 06/15 23:09
200F:推 bella1815 : 中吹信了 06/16 11:07
202F:→ s213092921 : 了 06/17 00:16
203F:→ s213092921 : 東莞松山湖畔的華為工廠裡,一台刻著“中國製造”的 06/17 00:17
204F:→ s213092921 : 龐然大物正在全速運轉。 它投射出的極紫外光束精準 06/17 00:17
205F:→ s213092921 : 落在晶圓上,刻畫出僅有頭髮絲萬分之一細的電路。 06/17 00:17
206F:→ s213092921 : 這不是ASML的機器,而是華為聯合國內產業鏈自主研發 06/17 00:17
207F:→ s213092921 : 的EUV光刻機。 現場工程師透露,其核心光源效率已達 06/17 00:17
208F:→ s213092921 : 3.42%,距離國際頂尖水平僅差“最後一公里” 06/17 00:17
209F:→ s213092921 : 測試資料顯示,該裝置每小時可處理250片晶圓,超越A 06/17 00:18
210F:→ s213092921 : SML同等級裝置的195片產能。 其核心光源採用哈工大 06/17 00:18
211F:→ s213092921 : 研發的雷射誘導放電電漿體(LDP)技術,能量轉換效 06/17 00:18
212F:→ s213092921 : 率達到ASML方案的2.25倍,裝置體積卻縮小了30%。 06/17 00:18
213F:→ s213092921 : 與ASML的二氧化碳雷射轟擊技術不同,中國團隊選擇了 06/17 00:18
214F:→ s213092921 : “換道超車”策略。 哈工大開發的放電電漿體極紫外 06/17 00:18
215F:→ s213092921 : 光源(DPP)採用固體脈衝雷射器,直接將電能轉化為 06/17 00:18
216F:→ s213092921 : 電漿體輻射,省去了複雜的雷射放大環節 06/17 00:18
217F:→ s213092921 : 這使得裝置功耗降低40%,成本僅為進口裝置的1/3。 06/17 00:19
218F:→ s213092921 : 更關鍵的是,該技術完全繞開ASML的LPP(雷射電漿體 06/17 00:19
219F:→ s213092921 : )專利壁壘。 06/17 00:19
220F:→ s213092921 : 荷蘭ASML內部報告曾評估:“中國至少需要十年突破EU 06/17 00:19
221F:→ s213092921 : V”,但華為聯合實驗室僅用18個月就將光源技術從實 06/17 00:19
222F:→ s213092921 : 驗室推進到產線。 06/17 00:19
223F:→ s213092921 : 國家“十四五”專項規劃為光刻機研發注入超200億元 06/17 00:19
224F:→ s213092921 : 資金,重點攻堅光學鏡頭、雷射光源等核心部件。 06/17 00:19
225F:→ s213092921 : 上海臨港迅速建成光刻機產業園,聚集科益虹源、國望 06/17 00:19
226F:→ s213092921 : 光學等30余家上下游企業。 其中,科益虹源的光源技 06/17 00:19
227F:→ s213092921 : 術已實現穩定輸出,國望光學的物鏡系統精度達0.2奈 06/17 00:19
228F:→ s213092921 : 米級,超越ASML採用的德國蔡司鏡頭。 06/17 00:19
230F:→ s213092921 : 與國產EUV搭配 06/17 00:30
232F:→ s213092921 : 7nm以下晶片的良率70% 06/19 13:37