作者cjol (勤樸)
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標題[新聞] 陸傳EUV光刻技術獲重大突破 前ASML科學
時間Fri May 2 22:00:21 2025
作者: cjol (勤樸) 看板: Tech_Job
標題: [新聞] 陸傳EUV光刻技術獲重大突破 前ASML科學
時間: Fri May 2 21:51:34 2025
作者: noposo (尼波) 看板: Gossiping
標題: [新聞] 陸傳EUV光刻技術獲重大突破 前ASML科學
時間: Fri May 2 10:52:12 2025
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1.媒體來源:
ETtoday 20250501
2.記者署名:
魏有德
3.完整新聞標題:
陸傳EUV光刻技術獲重大突破 前ASML科學家林楠主導
4.完整新聞內文:
https://cdn2.ettoday.net/images/8198/8198054.jpg
大陸中科院上海光學精密機械研究所近日傳出前ASML首席科學家林楠率領研究團隊，繞過
二氧化碳激光（雷射光，下同），使用固體激光器技術，成功開發出LPP-EUV光源，已達
國際領先水準，對大陸國產芯片（晶片，下同）及自主研發EUV光刻機具重大意義和突破
。
林楠團隊的研究成果發表於《中國激光》期刊雜誌第6期（2025年3月下），該團隊研究人
員估計，光源實驗平台的理論最大轉換效率可能接近6%，團隊正計劃增加進一步的研究，
未來有望進一步實現國產EUV光刻技術。
公開資訊顯示，EUV光刻機中最核心的分系統是激光等離子體（LPP）EUV光源，其中，二
氧化碳激光器激發的Sn等離子體 CE大於5%，是ASML光刻機的驅動光源，這類光源技術由
美國Cymer製造，屬於全球壟斷地位。
在光刻機關鍵技術「卡脖子」的情況下，林楠團隊考慮使用固體脈衝激光器代替二氧化碳
激光作為驅動光源，但能量效率仍需進一步提升。現階段研究成果顯示，林楠團隊1um固
體激光的CE最高可達3.42%，超過荷蘭和瑞士研究團隊的水平，雖仍未超過4%，但已達到
商用光源5.5%轉化效率的一半。
至於該研究團隊的領銜人物林楠擁有眾多身份，他是大陸中科院上海光機所研究員、博導
，大陸國家海外高層次人才，超強激光科學與技術全國重點實驗室副主任，精密光學工程
部技術總師，中國儀器儀表學會集成電路分會委員，中國光學工程學會微納專委會委員，
曾任荷蘭ASML公司研發科學家、研發部光源技術負責人。
林楠主攻機體電路製造光刻光源以及芯片量檢測光源研發與工程應用研究，師從2023諾貝
爾物理學獎得主「Anne l'Huillier」。
截止目前為止，林楠申請及授權美、日、韓等國國際專利110餘項，多項專利已完成產品
轉化搭載在最新型光刻機及量檢測設備中。
5.完整新聞連結 (或短網址)不可用YAHOO、LINE、MSN等轉載媒體:
https://www.ettoday.net/news/20250501/2952975.htm
心得
真的假的
中國科研這麼威?
還是年年有突破
歲歲買俄貨的翻版?
能對台灣的半導體造成衝擊嗎
--
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1F：推 cuteSquirrel: hand written chip 05/02 22:00
2F：→ tctv2002 : 當你什麼都沒有的時候 就會專心自己升級了... 05/02 22:01
※ 編輯: cjol (1.168.97.210 臺灣), 05/02/2025 22:02:11
3F：→ truelove356 : Icrose S213爬梯翻牆列隊上班 05/02 22:02
4F：推 Ensidia : 這些消息已經看得很膩了...每年都關鍵突破 05/02 22:02
5F：→ chinaeatshit: 中國本來就是你越逼他 他就越強 05/02 22:02
6F：→ tctv2002 : 中國也不缺人才 滿滿的肯賣肝的人礦 05/02 22:02
7F：推 ccdg : 說繞過的，搞不好還是抄人家專利。中國又沒在怕 05/02 22:03
8F：推 sean05269 : 能量又不到 只能曝屁眼吧 05/02 22:03
9F：推 c1951 : 買不到ASML光刻機 就直接挖ASML的人來中國 嘻嘻 05/02 22:04
10F：→ junior020486: 市場沒反應 05/02 22:04
11F：→ sixkeeper : 問就是彎道超車，中國恐成領頭羊 05/02 22:04
12F：→ tctv2002 : 他們會花錢 挖角供應商的人 來教學 上課 05/02 22:04
13F：推 cliche : 支那中吹大軍5分鐘後到達 05/02 22:04
14F：→ freshman : 中又贏～ 05/02 22:05
15F：噓 INGNI : 板上搜尋asml，以前半年發一次重大突破 05/02 22:05
16F：→ INGNI : 現在已經加速到兩個月發一次了喔，呵呵 05/02 22:05
17F：→ tctv2002 : 中雖然真的很會吹 但持續在進步 也是不爭的事實 看 05/02 22:05
18F：→ tctv2002 : 看韓國短短幾年 產業快被卷死 05/02 22:05
19F：→ tonyshan : 突破再突破 05/02 22:06
20F：→ tctv2002 : 一堆人還沒有危機意識 ... 05/02 22:06
21F：推 richaelchen : 東風快遞 應該不是吹的 05/02 22:06
22F：推 TIPPK : 老黃講大陸緊追在後，大家應該覺得是假的吧 05/02 22:06
23F：→ dennis06 : 遙遙領先 05/02 22:06
25F：→ TIPPK : 川普如果真的關稅亂搞四年，可能就會被追上 05/02 22:07
26F：推 s213092921 : 越來越多風聲出來了，內心平靜 05/02 22:07
27F：推 cake10414 : 老黃說中國AI... 不 一定追不上的對吧? 05/02 22:08
28F：→ s213092921 : 下半年麒麟9030就是國產5nm，差不多是台積電3-4nm的 05/02 22:08
29F：→ s213092921 : 程度吧 05/02 22:08
30F：推 metallolly : 樓下 05/02 22:09
32F：→ s213092921 : 台積電5nm 05/02 22:09
33F：推 gokuhwanlai : 我獨自升級 05/02 22:10
34F：→ cdcardabc : 中又贏 05/02 22:11
35F：推 ariadne : 拜託對中國宣傳要有信心好嗎？看看之前狂吹過的突 05/02 22:12
36F：→ ariadne : 破進步現在怎麼了好嗎？武漢肺炎疫苗之父、航母總 05/02 22:12
37F：推 xiaoyao : 相當台積5nm XDD 良率多少？ 05/02 22:12
38F：→ ariadne : 工程師、C919總指揮、半導體大基金掌控人…那個不 05/02 22:12
39F：→ ariadne : 是宣傳完過幾年啷噹下獄，只能說這這林楠已經上未 05/02 22:12
40F：→ ariadne : 來清算清單了 05/02 22:12
41F：→ kashiwasan : 人家當成國家戰略在搞，做出來是時間問題 05/02 22:12
42F：噓 Manslayer69 : 哈哈哈，那麼強幹嘛整天彎道下單，搞得台積被罰款 05/02 22:13
43F：→ KCKCLIN : XD會信的高機率都是... 05/02 22:13
44F：→ KCKCLIN : 看完全執政惡搞數十年還投過的OO幻想自己有腦/支那 05/02 22:14
45F：→ tonyshan : 五年前就在傳了 現在還在傳 05/02 22:14
46F：→ Manslayer69 : 對吼，C919差點忘了，上面中吹前幾年也吹上天，結 05/02 22:15
47F：→ Manslayer69 : 果關鍵零組件全部國外進口，中國負責最重要的 05/02 22:15
48F：→ Manslayer69 : 組裝 05/02 22:15
49F：→ KCKCLIN : 扣除月光外 有投資的謝謝有你們貢獻報酬 05/02 22:15
50F：推 c1951 : 歐美西方媒體繼續造謠抹黑洗腦宣傳 中國繼續突破 哈 05/02 22:16
51F：推 tnssh211448 : 整篇支語... 05/02 22:16
52F：推 QooSnow : （熊貓：）（~這只是眾多招數中的一個小招！~）（~ 05/02 22:17
53F：→ QooSnow : 爸爸就嚇到啦！~）（嘻嘻。） 05/02 22:17
54F：推 ksjr : 台積不轉變成美積，可能就會被追上 05/02 22:18
55F：推 NEWinx : 再突破個20年看能不能追上GG 05/02 22:18
56F：推 gg0079 : 真弄得出來肯定暗地是偷著做 會上版面炒作就是椪風 05/02 22:19
57F：噓 lmc66 : 曝光機啦 05/02 22:21
58F：推 seou : 1百多項專利好猛 05/02 22:22
59F：推 gg0079 : 能就直接上小米和華為的旗艦機吹牛逼了 05/02 22:22
60F：→ cprodi : 超英趕美 05/02 22:23
61F：→ zpeople0116 : 貼本作晶片，白癡到有剩！良率不知道有沒有20% 05/02 22:24
62F：推 barhusee : 中國未來的強權，做晶片200奈米指日可待 05/02 22:26
63F：推 Brioni : 好險還沒到商業等級，至少還要半年到一年吧？ 05/02 22:26
64F：噓 KISS1979 : 台或贏 台又贏 台雙贏 跪麻了 tea tailwan 05/02 22:27
65F：→ Brioni : 等商用原型機出了再評估還有多遠，現在都是雲 05/02 22:28
66F：→ Brioni : 原型機到上線調校至可以大量生產又是一大段路 05/02 22:29
67F：推 sketdenny : 中又贏 05/02 22:32
68F：推 abbkg : 有可能啊，圍堵遲早會找到出口 05/02 22:38
69F：推 kducky : 且聽龍吟 05/02 22:39
70F：推 jei01 : 他們是真的有人才，你叫印度逆向還逆不出來 05/02 22:40
71F：推 vdrenike : 有用嗎，美國下令不準買，賣給誰？ 05/02 22:40
72F：推 hitguy : ASML漲 05/02 22:42
73F：噓 pp520 : 每年突破，都懶得看了 05/02 22:43
74F：推 f860506 : 我獨自升級 05/02 22:44
75F：→ DAEVA : 真的完了 05/02 22:46
76F：→ s213092921 : 中國國產EUV直接打趴成本價，最後就是誰要買台積電 05/02 22:49
77F：→ s213092921 : ？ 05/02 22:49
79F：→ s213092921 : 了100倍，看誰要買貴鬆鬆的 05/02 22:50
80F：推 grku : 台灣人崩潰 05/02 22:50
81F：噓 PoloHuang : 又要騙$囉 05/02 22:51
82F：噓 pp520 : 樓上，功能接近是你在講的，有實績嗎 ? 05/02 22:53
83F：噓 river98 : 哈哈哈哈哈哈 05/02 22:53
84F：噓 judy13857 : 現在一堆人都在玩chatgpt的圖像好嗎 05/02 22:53
85F：→ pp520 : 這種東西沒實戰都是吹牛居多，ASML 是實戰過的 05/02 22:54
86F：→ pp520 : 尤其是精度這東西，中國差歐美太多了 05/02 22:54
87F：→ judy13857 : 我看s2130根本沒去用過兩者的差異吧，不然就只有簡 05/02 22:54
88F：→ judy13857 : 單用一下 05/02 22:54
89F：推 lusifa2007 : 什麼時候可以商用再來說嘴 實驗室環境都做不到商用 05/02 22:55
90F：→ lusifa2007 : 水準 廢物嗎 05/02 22:55
91F：→ pp520 : 機床，精密測量加工，這個都是百年企業百年經驗 05/02 22:55
92F：→ pp520 : 光 蔡司鏡片，我請問中國要如何突破 ? 05/02 22:55
93F：→ judy13857 : 上次放出R2消息，股市完全沒反應，看起來一堆人還是 05/02 22:56
94F：→ judy13857 : 選擇貴鬆鬆的 05/02 22:56
95F：→ judy13857 : 現在一堆人用貴鬆鬆產圖產的很爽的 05/02 22:57
96F：推 opticalman : 死命禁硬體軟體根本沒用， 05/02 22:59
97F：→ opticalman : 關健人材是破口 05/02 22:59
98F：推 jo78jo78 : 我相信是真的，這二年跟他們半導體設備商交流後發 05/02 23:00
99F：→ jo78jo78 : 現進步神速 05/02 23:00
100F：推 opticalman : 中國狂挖台灣歐美工程師，破口 05/02 23:02
101F：→ hsu0612 : 人礦優勢 05/02 23:13
102F：噓 MP357 : 換個新的講好嗎？聽膩了啦！嘻嘻 05/02 23:14
103F：推 SakuraHana : 現在是蓋20的六輕打趴台塑，過一陣子就是20家1奈米 05/02 23:14
104F：→ SakuraHana : 廠打爆台機電 05/02 23:15
105F：→ afra : 中國沒在管良率的啦。國有企業。賠錢都可以生產 05/02 23:19
106F：推 ilGroundhog : 沒這麼快 這東西是世界各國的結晶產物 05/02 23:21
107F：推 jeffguoft : 台灣人就剩意識形態跟鍵盤能噓了，趁統一前多噓點 05/02 23:21
108F：→ ilGroundhog : 不然為什麼中國想盡辦法要進口算力卡 05/02 23:22
109F：推 heart9677 : 確實…你又不可能不發專利，我抄頂多我不能賣你，罰 05/02 23:24
110F：→ heart9677 : 錢政府買單，我就破罐子破摔你拿我怎樣 05/02 23:24
111F：推 pt993526 : 這次第幾次突破了 05/02 23:26
112F：推 tonylolz : 假 05/02 23:27
113F：噓 s114752 : 又淫了？ 05/02 23:28
114F：推 HuntBear : 騙補助用的 北七才當真 05/02 23:31
115F：推 g0t24568 : 雖然中共可惡 但說實在他們真的很強 05/02 23:31
116F：→ DustToDust : 人家是國家在搞 時間問題而已 05/02 23:31
117F：推 gg0079 : 當初全國之力搞大煉鋼也是時間問題 但這就是問題 05/02 23:37
118F：→ HsihHan : 真的做出來 狡兔死走狗烹 所以永遠保持研發階段 05/02 23:38
119F：噓 moto700 : 有愛支病什麼都會信啦,柯柯 05/02 23:41
120F：→ KCKCLIN : XD腦子正常以上都知道實情，不用幻想扣意識型態lol 05/02 23:44
121F：推 RTAngel : 已讀 05/02 23:44
122F：推 bathhouse : 只要新聞有傳的字眼，就不要太相信。看新聞做股票 05/02 23:45
123F：→ bathhouse : 就是笨蛋 05/02 23:45
124F：推 kiou : 看過F1就會造F1?捧中笑台的有多少懂ASML原理啊 笑死 05/02 23:56
125F：→ bryan2262 : 人才這麼多，認真研發是滿有機會的 05/02 23:57
126F：推 jagger : 十年後再討論 05/03 00:00
127F：噓 sheo99 : 這種文定期發幾次了 05/03 00:02
128F：→ sheo99 : 還是有中吹配合著吹 05/03 00:02
129F：→ flybow : 從5G跟AI的發展來看 把世界第二當成笑話 神勇 05/03 00:05
130F：推 irridiance : 到底是多低能才會相信這些鬼話，連面板的曝光機（ 05/03 00:06
131F：→ irridiance : 阿六光刻機）都還在死命買尼康佳能 05/03 00:06
132F：→ judy13857 : 樓上你上面那個就符合你講的低能了 05/03 00:14
133F：推 a606152004 : ChatGPT 還是比ds 好用 05/03 00:24
134F：噓 cchh179 : 這事情很嚴重欸 股版為何滿滿的不屑？ 05/03 00:26
135F：→ cchh179 : 中國如果繞開ASML專利 超越台積電只是時間問題... 05/03 00:28
136F：推 ariadne : 因為這只是有機會突破其中一個模組 還有一堆壁壘待 05/03 00:29
137F：→ ariadne : 突破 不像文中吹的不用幾年就取代 05/03 00:29
138F：→ ariadne : 不然你以為那麼重要的人ASML會放出來？ 05/03 00:30
139F：→ flybow : 說人家低能的 照一下鏡子 有沒有像 05/03 00:36
140F：噓 liscp : 誒誒誒 DS就演過一次了 同一批人馬就別鬧了 小心被 05/03 00:42
141F：→ liscp : 某人舉報親共 05/03 00:42
142F：推 AirLee : 你以為只有光源能幹嗎 你還得有蔡司生產的鏡片 05/03 00:45
143F：→ AirLee : 給你十年搞通現在半導體的先進製程，然後勒？ 05/03 00:45
144F：→ AirLee : 尼還有一堆特化材料拿不到….20年後 美國早就不知 05/03 00:47
145F：→ AirLee : 道飛去哪裡了 05/03 00:47
146F：噓 kausan : 都噴到宇宙了還在說這個，難怪賠錢笑鼠 05/03 00:47
147F：→ AirLee : 然後你還DS n代 05/03 00:48
148F：→ kausan : 嚴重在那邊 賠錢很嚴重是沒錯 05/03 00:48
149F：→ warin : 怕什麼,如果這麼強不就統一了嗎,各族群皆大歡喜 05/03 00:48
150F：→ warin : 幹嘛還需要這樣敲鑼打鼓四處吹噓 05/03 00:50
151F：→ Taiwanwolf : 美國爸爸收割台灣，gg就gg了 05/03 01:01
152F：推 NEWinx : 跟ChatGPT比，DS跟垃圾差不多，小粉紅都不敢吹了 05/03 01:06
153F：→ judy13857 : 所以你剛跑去照鏡子嗎 05/03 01:28
154F：噓 djhero : 這要商用還得10年耶 05/03 01:30
155F：噓 djhero : 查就知道這帳號帶任務發文的 05/03 01:32
156F：噓 baka1412 : 整天突破 05/03 01:35
157F：推 ChikanDesu : 西方科學家是人 東方的也是人阿 科科 更不用說一大 05/03 01:56
158F：→ ChikanDesu : 堆中國人寫論文 05/03 01:56
159F：噓 focoket12 : 這種拆那破新聞天天放衛星的，真正突破他們不會講 05/03 02:09
160F：→ focoket12 : 的！ 05/03 02:09
161F：→ flybow : 所以你剛照完 結果如何 驗證一下低能看別人都低 05/03 02:32
162F：→ flybow : 到底是不是真的 05/03 02:32
163F：→ b0364864 : 手工刻+1 05/03 03:06
164F：→ judy13857 : 沒人會聽低能的話去做事吧 05/03 03:20
165F：推 a96932000 : 即便他把10分吹成100分,但只要逐步累積10分的進度 05/03 03:41
166F：→ a96932000 : 那也是種進步 05/03 03:42
167F：→ a96932000 : 只要他沒有80分90分的東西可以用,也只能慢慢從10分 05/03 03:43
168F：→ a96932000 : 去累積 05/03 03:43
169F：→ CMCC : 終於累積到100分，總分也成長到10000分了 05/03 03:45
170F：推 micotosai : 連佳能都打不贏了還asml 哩 05/03 04:21
171F：推 nn1975 : 不會又被消失吧 05/03 04:49
172F：推 maxangel : 看推文一堆意識型態作祟 就覺得好笑 05/03 05:22
173F：→ maxangel : 想當初面板也是笑人家良率 現在台灣？？ 05/03 05:23
174F：→ maxangel : 對岸很多產業捲的很厲害 尤其是硬體 05/03 05:24
175F：推 gbman : 對岸是沒先進製程!但成熟製程已經打掛聯電了CC 05/03 06:26
176F：→ gbman : 台灣還真沒啥基礎技術研發!主要還是靠美國CC 05/03 06:27
177F：→ gbman : 所以美國人要搞GG太簡單了!啥都被卡脖子CC 05/03 06:29
180F：噓 mark117 : 笨蛋上當 05/03 07:38
181F：推 mudvayne : 鐘佑盈：誰叫我？ 05/03 07:48
182F：推 AirLee : 看到這邊一堆秀自己腦袋下線的發言耶，三星沒人卡 05/03 07:54
183F：→ AirLee : 他脖子照理說不是應該已經研發到.7奈米了。 05/03 07:54
184F：→ AirLee : 現在5奈米以下幾乎是gg的天下 05/03 07:55
185F：推 xiaoyao : 舉面板例子也很好笑。面板技術門檻又不高 05/03 08:24
186F：推 gbman : 你有技術美國要玩你也沒用!封你機台耗材你就玩完CC 05/03 08:31
187F：→ gbman : 日本當初技術半導體技術也是一流還是被美國玩死CC 05/03 08:32
188F：→ gbman : 你只要其中一個半導體技術要用美國的就被卡死CC 05/03 08:34
189F：噓 verydolungbe: 中國持續“進步”（X）持續“山寨”（O） 05/03 10:59
190F：推 s213092921 : 中國就是全零件國產化的，還在幻想美國卡脖子…… 05/03 11:38
191F：→ judy13857 : 又一個低能 05/03 11:49
192F：→ RTX3080TI : 中又贏 05/03 12:40
193F：推 ariadne : 上次吹曝光機自產成功是拿上海微電子的檢測設備在 05/03 22:25
194F：→ ariadne : 唬爛 這次直接吹紙面 越來越退步了 05/03 22:25
195F：推 bigtree03 : 年年突破，中又贏 05/03 22:51
196F：推 whc760123 : 很好 但是問題不僅是drive laser 還有很多問題 我想 05/04 00:16
197F：→ whc760123 : 他如果之前做過ASML就知道 路還很遠 05/04 00:16
198F：→ southes : 支那嘴砲第一 05/04 05:21
199F：推 s213092921 : LPP及LDP路線都有不同的重大進展，驗證之前的謠傳不 05/05 12:26
200F：→ s213092921 : 同中國團隊各自研發EUV路線 05/05 12:26