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我不知道有沒有書專門說LED的光罩設計, 但其實和大多數IC設計相比, LED的光罩設計相形之下要單純許多, 它不需要複雜的接線, 只要做出diode即可. 光罩的設計目的是在epi wafer(ie.已經有磊晶層的晶圓)上做出每道製程的圖案 以InGaN(藍光或綠光)LED為例, 光罩首先要考慮chip size(通常是老闆考慮), 而圖形再依照不同製程來決定 而製程的安排首先取決於chip的形式, 像Ni/Au製程,ITO製程和flip chip製程是不太相同的, 必須先考慮好每一步製程要怎麼做,以及製程順序要怎麼安排, 才能夠決定每一道光罩的圖形. 在設計時這是最重要的一步, 每一道光罩都要留對準誤差, 也要考慮製程的線寬誤差, (像一樣是鍍金屬,用lift-off或photo etching做出來的線寬就是不同) 還要考慮不同清洗或蝕刻方式的影響; 確認製程可以做出電性ok的chip後, 考慮圖形對亮度和可靠度會造成的影響, 像P-ohmic contact的製作對current spreading和正面亮度有絕對的影響, N-ohmic contact的形狀對current spreading也很重要, Pad會有遮光的考量, passivation則盡量保護表面和提高出光量; 光罩設計分高下的地方通常在亮度及可靠度, 大多數工程師設計的光罩一定做得出會發光,可量產,Vf,Ir都符合spec的LED chip, 但是同樣的epi wafer, 因為chip型式(像傳統Ni/Au就沒有ITO或FC那麼亮) 和圖案設計(強烈影響current spreading) 會造成亮度和可靠度的巨大差異; 當封裝產客戶有不同需求時, 光罩的圖形當然要跟著改; 常見的原因是因為要做更薄的SMD或是對光場有要求, 或者是打線,die bond有問題; 基本上每個客戶會有各自的考量, 目前能提供客製化chip的應該不多, 設計時大多考慮滿足多數客戶需求即可.... 當然,除了光罩圖案外, chip的厚度,表面處理,封裝方式也都是要互相配合的, 目前chip業界大多仍以亮度為設計指標, 封裝廠再來考慮光場, 但我覺得未來兩者的交流應該會更多, 一些特殊規格還是要互相配合才容易做得到.... --



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◆ From: 220.136.159.80
1F:推 clark871004:喔喔,真是太感謝你啦,這篇應該可以進精華了 08/29 21:29







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