作者allencce ()
看板PhD
標題[問題] SU8-2002光阻稀釋劑 及 HMDS的購買
時間Tue Apr 12 10:34:24 2011
最近實驗室剛步入黃光製程
在曝光顯影上的技術及認知都有一點弱
我們發現SU8 2002光阻黏稠度過高造成光阻過厚
因此想要買稀釋劑進行稀釋降低膜厚
以及用HMDS增加光阻於基板上的附著能力
想請問這兩個東西哪個廠商有在賣?
GOOGLE了好久都找不到相關資料
謝謝
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別人在facebook 我在phase book 偉
別人在plurk 我在Planck 哉
別人在看Transformer 我在算Fourier Transformer !
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Schrödinger
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.128.194.201
1F:推 knoben:你可以去NEMS版問 04/12 10:39
2F:推 Jinuse:你買SU8的那一家廠商就有在賣thinner HMDS可以問友和或景明 04/12 11:33
3F:→ Jinuse:或是直接買2000.5 看datasheet就知道了 我們是找亞太國際買 04/12 11:34
4F:→ allencce:OK~了解 那請問大家都用哪間廠牌的呢? 04/12 11:57
5F:→ allencce:友和報Alfa 500mL包裝的 1922元~ 04/12 11:57
6F:推 lexjiang:SU8不就是專門在做厚光阻用的,怎麼不直接買稀光阻? 04/12 13:44
7F:→ lexjiang:你買稀釋液也不會便宜到哪去 04/12 13:44
8F:推 leox243:可能SU8比較強韌吧 04/12 13:49
9F:推 Jinuse:是呀 其實討論的前提是他要先說他想作多厚 04/12 15:42