作者winess ( )
看板PhD
標題[問題] 關於 SIMS (二次離子質譜儀)
時間Sun May 3 20:26:41 2009
不曉得這版上是否有人了解 SIMS 的一些原理
小弟我有個問題想請教大家
假設利用 SMIS 打一個 PN 的結構 (假設P型是磷,N型是硼)
假設上層是P型, 那一開始被打出來的是磷離子
當打到N型時, 出來的是硼離子
因為儀器會有個 MASS spectrometer, 磷離子和硼離子不會同時通過
那我想問儀器是要如何打出兩個離子的縱深濃度分布?
還是要分兩次打??
謝謝~~
^^
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 61.62.31.142
※ 編輯: winess 來自: 61.62.31.142 (05/03 20:27)
※ 編輯: winess 來自: 61.62.31.142 (05/03 20:27)
1F：推 gayuan:一邊挖一邊打，所以可以看縱深濃度 05/03 22:27
2F：推 rush007:MASS spectrometer, 磷離子和硼離子不會同時通過??? 05/03 22:44
3F：→ rush007:有Mass的話，同時間看兩種離子的訊號並不是問題。 05/03 22:45