作者danny6 (danny6)
看板NEMS
標題一些微機電相關問題
時間Mon Apr 15 10:02:21 2019
各位大大，小弟的實驗室是在做細胞捕捉量測的，最近在實驗上有些碰壁，想請問各位一
些問題
1. 我的東西是以鍍銅的pet膜作為基底，之前是在基板上塗AZ-P4620(約12um)並黏貼在載
玻片上，但在幾道步驟(軟烤、顯影、蝕刻等等步驟)後，這層光阻會產生許多氣泡妨礙觀
察，想請問鍍銅pet應該如何黏貼在基板？
2. 最近在電鍍鎳完鍍金時，時常有一些成色不均勻的情況(有銅色的部分)，是我電鍍液
的問題嗎(現在呈現藍色)？想請問各位在電鍍鎳完鍍金會做什麼預處理嗎？
感謝各位大大
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1F：推 wkc0908: 剛開始塗佈就會有氣泡嗎? 若把軟烤改成硬烤會不會比較好 05/07 23:12
2F：→ fongn: 你可以去打打看你的鎳是不是被銅吃掉了 05/08 23:34